[发明专利]样品分析方法、装置、设备及存储介质

说明书

本发明属于物质检测技术领域，公开了一种样品分析方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：根据获取到的X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量；根据相对原子百分含量确定目标元素对应的综合灵敏度因子；根据获取到的反射电子能量损失谱图确定目标元素的非弹性损失峰总面积和氢元素的弹性损失峰面积；基于目标元素的综合灵敏度因子、该非弹性损失峰总面积、氢元素的灵敏度因子以及该弹性损失峰面积确定待测试样品对应的氢元素含量；根据氢元素含量对待测试样品进行样品分析。通过上述方式，利用XPS谱图和REELS谱图结合分析，准确测定待测试样品中的氢元素含量，进一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析结果的准确性。

技术领域

本发明涉及物质检测技术领域，尤其涉及一种样品分析方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

由于氢（H）元素含量会显著影响聚合物薄膜材料性能，包括水解性能、耐老化性能、耐热性能、强度、热稳定性、燃烧性能等，因此H元素相对含量的准确测定在聚合物薄膜材料研究中非常重要。X射线光电子能谱仪(XPS)无法测量材料表面的H元素含量，而REELS测试中由于H元素对应的灵敏度因子极小，实际测试谱图中H元素引起的损失峰相对H元素以外其余元素产生的弹性损失峰较弱，常规数据处理操作易导致H元素引起的损失峰的错误拟合结果，进而掩盖H元素引起的损失峰信号，无法准确测定聚合物薄膜材料中H元素含量，导致聚合物薄膜材料的性能分析结果不准确。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种样品分析方法、装置、设备及存储介质，旨在解决无法准确测定聚合物薄膜材料中氢元素含量，导致聚合物薄膜材料的性能分析结果不准确的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种样品分析方法，所述方法包括以下步骤：

获取待测试样品对应的X射线光电子能谱图和反射电子能量损失谱图；

根据所述X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量，其中，所述目标元素为所述待测试样品中除氢元素外的其他元素；

根据所述相对原子百分含量确定所述目标元素对应的综合灵敏度因子；

根据所述反射电子能量损失谱图确定所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积，并根据所述反射电子能量损失谱图确定氢元素对应的弹性损失峰面积；

基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量；

根据所述氢元素含量对所述待测试样品进行样品分析。

可选地，所述基于所述目标元素对应的综合灵敏度因子、所述目标元素对应的非弹性损失峰总面积、氢元素对应的灵敏度因子以及所述氢元素对应的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量，包括：

基于所述综合灵敏度因子对所述目标非弹性损失峰总面积进行修正，得到修正后的目标非弹性损失峰总面积；

基于氢元素对应的灵敏度因子对所述弹性损失峰面积进行修正，得到修正后的弹性损失峰面积；

根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量。

可选地，所述根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述待测试样品对应的氢元素含量之后，所述方法还包括：

根据所述修正后的目标非弹性损失峰总面积和所述修正后的弹性损失峰面积确定所述目标元素对应的相对含量；

根据所述目标元素对应的相对含量和所述相对原子百分含量确定所述待测试样品中除氢元素外的其他元素分别对应的元素含量；