[发明专利]一种混合集成电路自动键合兼容夹具及使用方法在审

专利信息
申请号: 202210380652.7 申请日: 2022-04-12
公开(公告)号: CN114823474A 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 吴海峰;彭理娟;董立菲 申请(专利权)人: 天水七四九电子有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/60;H05B3/06
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 马贵香
地址: 741000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 一种 混合 集成电路 自动 兼容 夹具 使用方法
【说明书】:

发明属于混合集成电路夹装技术领域,具体公开一种混合集成电路自动键合兼容夹具及使用方法。包括底座,所述底座底部设有设备嵌套结构,所述底座顶部设有放置腔,所述放置腔至少有一个内侧壁底部设有放置台阶,所述放置腔底部设有加热模块,所述放置台阶对称方向设有移动夹紧模块。本发明通过在放置腔底部设置加热模块代替键合设备的加热底座,同时通过移动夹紧模块适应不同大小产品外壳尺寸,避免了不断更换夹具型号,提高了生产效率,降低了生产成本。

技术领域

本发明属于混合集成电路夹装技术领域,具体涉及一种混合集成电路自动键合兼容夹具及使用方法。

背景技术

混合集成电路自动键合的夹具通常都是通过真空吸附产品外壳或者用压块对外壳施压来实现产品固定,确保打线时产品没有位移。

现有的夹具都是通过真空吸附产品外壳或者用压块对外壳施压来实现产品固定,此类夹具基本不能实现兼容,而混合集成电路单批产品数量少,外壳种类多,每次更换夹具后都需要重新校准设备。

发明内容

本发明的目的在于提供一种混合集成电路自动键合兼容夹具及使用方法,以解决现有夹具无法兼容多种型号的混合集成电路外壳,导致生产效率低,成本高的技术问题。

为实现上述目的本发明采用如下技术方案予以实现:

第一方面,一种混合集成电路自动键合兼容夹具,包括底座,所述底座底部设有设备嵌套结构,所述底座顶部设有放置腔,所述放置腔内部设有若干第一螺孔,所述放置腔至少有一个内侧壁底部设有放置台阶,所述放置腔底部设有加热模块,所述放置台阶对称方向设有移动夹紧模块。

本发明的进一步改进在于:所述设备嵌套结构设置在底座底部中心,所述设备嵌套结构包括固定片,所述固定片边缘均匀设有若干凸点,凸点的凸起方向向下。

本发明的进一步改进在于:所述底座侧面底部设有若干热偶放置孔和若干加热管放置孔,所述加热模块包括若干热偶和若干加热管,所述热偶设置在热偶放置孔中,所述加热管设置在加热管放置孔中。

本发明的进一步改进在于:所述移动夹紧模块包括推块,所述推块与若干根推杆相连,所述推块设置在放置腔内,所述底座与放置台阶对称侧壁上设有若干第一推杆螺孔,每根推杆穿过一个第一推杆螺孔。

本发明的进一步改进在于:所述底座底面上设有若干第一顶丝螺孔,每个热偶放置孔或加热管放置孔下方都对应一个第一顶丝螺孔。

本发明的进一步改进在于:所述推杆远离底座的一端设有推把,所述推杆与推块相连的一端设有推杆槽,所述推把和推杆槽之间通过长杆相连。

本发明的进一步改进在于:所述推块与第一推杆螺孔相邻侧面设有若干推块直孔,所述推块直孔与第一推杆螺孔位置、数量和大小都相同,所述推块顶部设有若干第二顶丝螺孔,所述第二顶丝螺孔设置在推块直孔正上方,每个第二顶丝螺孔对应一个推块直孔,所述推块与放置台阶相邻侧面的底部设有推块台阶。

本发明的进一步改进在于:所述推块台阶为长方体,高度与放置台阶相同,所述推块台阶与放置台阶顶部处于同一水平面。

本发明的进一步改进在于:所述推块和每根推杆之间,通过推杆槽和第二顶丝螺孔内的顶丝固定连接。

第二方面,一种混合集成电路自动键合兼容夹具的使用方法,包括以下步骤:

通过设备嵌套结构将底座嵌套在键合设备上,再通过第一螺孔和螺栓将底座固定在键合设备上;

将待加工产品放入放置腔内,卡在放置台阶和移动夹紧模块之间;

通过移动夹紧模块夹紧待加工产品;

控制加热模块持续放热直至加工结束;

加工结束后控制移动夹紧模块远离待加工产品。

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