[发明专利]一种混合集成电路自动键合兼容夹具及使用方法

权利要求书

1.一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)底部设有设备嵌套结构(6)，所述底座(1)顶部设有放置腔(4)，所述放置腔(4)内部设有若干第一螺孔(15)，所述放置腔(4)至少有一个内侧壁底部设有放置台阶(5)，所述放置腔(4)底部设有加热模块，所述放置台阶(5)对称方向设有移动夹紧模块。

2.根据权利要求1所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述设备嵌套结构(6)设置在底座(1)底部中心，所述设备嵌套结构(6)包括固定片，所述固定片边缘均匀设有若干凸点，凸点的凸起方向向下。

3.根据权利要求1所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述底座(1)侧面底部设有若干热偶放置孔(7)和若干加热管放置孔(8)，所述加热模块包括若干热偶和若干加热管，所述热偶设置在热偶放置孔(7)中，所述加热管设置在加热管放置孔(8)中。

4.根据权利要求1所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述移动夹紧模块包括推块，所述推块与若干根推杆相连，所述推块设置在放置腔(4)内，所述底座(1)与放置台阶(5)对称侧壁上设有若干第一推杆螺孔(2)，每根推杆穿过一个第一推杆螺孔(2)。

5.根据权利要求3所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述底座(1)底面上设有若干第一顶丝螺孔(9)，每个热偶放置孔(7)或加热管放置孔(8)下方都对应一个第一顶丝螺孔(9)。

6.根据权利要求4所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述推杆远离底座(1)的一端设有推把(13)，所述推杆与推块相连的一端设有推杆槽(14)，所述推把(13)和推杆槽(14)之间通过长杆相连。

7.根据权利要求6所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述推块与第一推杆螺孔(2)相邻侧面设有若干推块直孔(11)，所述推块直孔(11)与第一推杆螺孔(2)位置、数量和大小都相同，所述推块顶部设有若干第二顶丝螺孔(10)，所述第二顶丝螺孔(10)设置在推块直孔(11)正上方，每个第二顶丝螺孔(10)对应一个推块直孔(11)，所述推块与放置台阶(5)相邻侧面的底部设有推块台阶(12)。

8.根据权利要求6所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述推块台阶(12)为长方体，高度与放置台阶(5)相同，所述推块台阶(12)与放置台阶(5)顶部处于同一水平面。

9.根据权利要求6所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，所述推块和每根推杆之间，通过推杆槽(14)和第二顶丝螺孔(10)内的顶丝固定连接。

10.一种混合集成电路自动键合兼容夹具的使用方法，基于权利要求1-9中任一项所述的一种混合集成电路自动键合兼容夹具，其特征在于，包括以下步骤：

通过设备嵌套结构(6)将底座(1)嵌套在键合设备上，再通过第一螺孔(15)和螺栓将底座(1)固定在键合设备上；

将待加工产品放入放置腔(4)内，卡在放置台阶(5)和移动夹紧模块之间；

通过移动夹紧模块夹紧待加工产品；

控制加热模块持续放热直至加工结束；

加工结束后控制移动夹紧模块远离待加工产品。