[发明专利]一种用于衬底外延的反应器

权利要求书

1.一种用于衬底外延的反应器，其特征在于，包括：

反应腔室；

加热器，其被配置为对所述反应腔室进行加热；

风冷流道，其位于所述加热器以及所述反应腔室之间；以及

换热器，其布置于所述风冷流道上，其中所述换热器被配置为生成冷却气体并且驱动所述冷却气体沿所述风冷流道流动以便冷却所述反应腔室以及所述加热器。

2.根据权利要求1所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述加热器包括第一和第二加热器，其中所述第一和第二加热器分别布置在所述反应腔室的上方和下方；以及

所述风冷流道包括第一和第二流道，所述第一和第二流道分别位于所述第一和第二加热器与所述反应腔室之间。

3.根据权利要求1所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述反应腔室包括：

基座，其被配置为承载衬底；

预热环，其布置于所述基座的周边处。

4.根据权利要求3所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述基座和所述预热环的材料为石墨或者涂层石墨。

5.根据权利要求1所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述加热器包括：

红外发热体；

红外透射体，其布置于所述红外发热体靠近所述反应腔室的一侧；以及

金属背板，其布置于所述红外发热体背离所述反应腔室的一侧。

6.根据权利要求5所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述加热器的发热面积大于20％。

7.根据权利要求5所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述红外发热体的加热元件位于小于30度的球面内。

8.根据权利要求5所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述金属背板包括水冷管路。

9.根据权利要求5所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述金属背板与所述红外透射体形成密闭腔体，其中将所述密闭腔体抽真空或者通过惰性气体对所述密闭腔体进行吹扫。

10.根据权利要求5所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述加热器还包括：

隔热层，其包括0P石英层或者耐火材料层；和\或

红外反射层，其包括镀金层。

11.根据权利要求2所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，包括多个换热器，其布置在所述第一和第二流道上。

12.根据权利要求11所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，所述多个换热器布置在所述第一和第二流道的进口和出口处。

13.根据权利要求12所述的用于衬底外延的反应器其特征在于，包括回风管道以及进风管道，其中所述多个换热器布置在所述回风管道以及进风管道中。

14.根据权利要求13所述的用于衬底外延的反应器，其特征在于，

所述多个换热器布置在所述第一和第二流道上；和\或

所述多个换热器布置在所述第一和第二流道的进口和出口处；和\或

所所述多个换热器布置在所述回风管道以及进风管道中。