[发明专利]一种磨片后简易超声清洗设备在审
| 申请号： | 202210355340.0 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114602886A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 雍琪浩 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磨片后 简易 超声 清洗 设备 | ||
1.一种磨片后简易超声清洗设备，包括柜体(1)，其特征在于：所述柜体(1)的内部横向排布设置有清洗槽(9)，所述清洗槽(9)的底部皆设置有超声波振板(13)，所述超声波振板(13)的一侧皆设置有加热管(12)，所述柜体(1)的底部一固定安装有放置框(2)，所述放置框(2)的内侧纵向排布开设有放置槽(18)，所述放置槽(18)的内侧皆设置有超声波发生器(6)，所述超声波发生器(6)的一侧固定安装有温控器(15)，所述清洗槽(9)和放置槽(18)的数量皆为两个。
2.根据权利要求1所述的一种磨片后简易超声清洗设备，其特征在于：所述温控器(15)的下方设置有加热开关(16)，且超声波发生器(6)的一侧表面设置有超声开关(14)。
3.根据权利要求1所述的一种磨片后简易超声清洗设备，其特征在于：所述清洗槽(9)的顶部皆活动安装有密封盖(10)，且密封盖(10)的顶部皆通过螺栓固定安装有握把(11)。
4.根据权利要求1所述的一种磨片后简易超声清洗设备，其特征在于：所述柜体(1)的一侧表面活动卡合安装有检修板(7)，且检修板(7)的表面皆设置有拉环(8)。
5.根据权利要求1所述的一种磨片后简易超声清洗设备，其特征在于：所述柜体(1)的底部固定安装有支撑腿(4)，且支撑腿(4)和放置框(2)的底部皆设置有支撑座(5)。
6.根据权利要求1所述的一种磨片后简易超声清洗设备，其特征在于：所述清洗槽(9)靠近顶部的一侧表面贯穿柜体(1)固定安装有进水管(19)，所述清洗槽(9)靠近底部的一侧表面贯穿柜体(1)固定安装有排水管(3)，且进水管(19)和排水管(3)上皆设置有控制阀(17)。
7.根据权利要求1所述的一种磨片后简易超声清洗设备，其特征在于：所述超声波发生器(6)的超声频率为20-60KHZ，1000W，所述超声波清洗的药液配比水为清洗剂(04K)＝30L：0.8L，且超声波清洗的时间为10分钟。
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