[发明专利]匹配银内电极共烧铌锰-锆钛酸铅压电陶瓷、其制备方法及其制品

权利要求书

1.匹配银内电极共烧铌锰-锆钛酸铅压电陶瓷，其特征在于，其化学通式为：

aPb(Mn_1/3Nb_2/3)O₃-（0.94-a）Pb(Zr_0.5Ti_0.5)-0.06Bi(Ni_1/2Ti_1/2)O₃+xwt%Li₂CO₃，其中0＜a≤0.12；0.3≤x≤0.7。

2.根据权利要求1所述的压电陶瓷，其特征在于，a的取值选自0.01、0.04或0.12。

3.根据权利要求1或2所述的压电陶瓷，其特征在于，所述压电陶瓷能够在820℃的温度下与银浆实现共烧，且其介电损耗0.80%。

4.根据权利要求1-3任一项所述的匹配银内电极共烧铌锰-锆钛酸铅压电陶瓷的制备方法，其特征在于，包括配料、烘干、预烧、压片、排胶、烧结、烧银、极化步骤，其中：

配料步骤按照化学通式：

aPb(Mn_1/3Nb_2/3)O₃-（0.94-a）Pb(Zr_0.5Ti_0.5)-0.06Bi(Ni_1/2Ti_1/2)O₃+xwt%Li₂CO₃的摩尔比称取PbO、ZrO₂、TiO₂、MnO₂、Nb₂O₅、Bi₂O₃、NiO、Li₂CO₃原料；

将称量好的原料放在聚四氟乙烯型磨罐中，以去离子水作为分散剂，以氧化锆球作为球磨介质，按照原料：氧化锆球：去离子水=1:3.2:1的比例球磨1-3h，得到混合均匀的球磨料。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在预烧步骤中，将于80-100℃烘干后的球磨料过20-40目筛网后，置于氧化铝坩埚中，然后放在马弗炉中，以3-5℃每分钟的速度升温到650-700℃，然后保温2-3h，得到粉料。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，在压片步骤中，将所得粉料二次球磨1-3h，然后继续烘干，向烘干后的二次球磨粉料中加8%-9%的聚乙烯醇溶液，均匀研磨，再过80-120目筛网，于100-120MPa下压制成直径12mm、厚1mm的圆片状胚体。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，在排胶步骤中，将所得圆片状胚体放在马弗炉中，以每分钟0.5-1.5℃升温到580-620℃，保温2-3h进行排胶，得到排胶后的胚件。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，在烧结步骤中，将所得排胶后的胚件放在马弗炉中，以烘干后的二次球磨粉料覆盖胚件，以每分钟3-5℃升温到820-850℃，然后保温1.5-2h，得到陶瓷片。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，在烧银步骤中，将所得烧结好的陶瓷片进行打磨，并将陶瓷片上下均匀涂抹银浆，然后置于马弗炉中，以每分钟5-10℃均匀升温到630-670℃，并在此温度下保温20-40min，然后自然冷却，得到背银的陶瓷片。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，在极化步骤中，将所得背银的陶瓷片放在硅油中，升温到100-130℃，然后加3-4KV/mm，保持20-40分钟，得到匹配银内电极共烧铌锰-锆钛酸铅压电陶瓷。

11.高频超声马达，其特征在于，采用权利要求1-3任一项所述的匹配银内电极共烧铌锰-锆钛酸铅压电陶瓷制备得到。