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[发明专利]一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法-CN201710277126.7有效
发明人：邹赫麟;李奇;王兴;韩梅;周毅 -专利权人：大连理工大学;珠海赛纳三维科技有限公司
申请日： 2017-04-24 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：本发明提供一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法。本发明的方法包括：1)将钛酸四丁酯溶于乙酰丙酮中，再加入硝酸锆、乙酸铅、乙二醇甲醚和甲酰胺，控制乙酸铅与硝酸锆的摩尔比为(1.1‑1.3)：y，制备化学式为Pb(ZryTi1‑y)O3的锆钛酸铅缓冲层前驱体溶液；2)将锆钛酸铅缓冲层前驱体溶液沉积在衬底上，热处理，得到锆钛酸铅缓冲层1‑y)O3的锆钛酸铅前驱体溶液；4)将锆钛酸铅前驱体溶液沉积在锆钛酸铅缓冲层上，热处理，得到锆钛酸铅薄膜。本发明的方法能够制得介电常数高且介电损耗小的锆钛酸铅薄膜。
一种锆钛酸铅薄膜及其制备方法

[发明专利]一种锆钛酸铅陶瓷纤维的制备方法-CN200710144094.X有效
发明人：熊兆贤;麦满芳;薛昊;陈立富 -专利权人：厦门大学
申请日： 2007-12-20 - 公布日： 2008-06-04 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：一种锆钛酸铅陶瓷纤维的制备方法，涉及一种陶瓷纤维。提供一种所得纤维具有单一的钙钛矿相，致密度较高，直径小于30μm，长度约为1cm，能作为1－3型压电复合材料用陶瓷纤维的锆钛酸铅陶瓷纤维的制备方法。制备锆钛酸铅前驱体溶液：三水醋酸铅加到正丁醇中，再加络合剂冰乙酸，加热溶解，冷却得溶液A；依次把丁醇锆和丁醇钛倒入正丁醇中，得锆和钛的二元混合溶液，往二元混合溶液中加入乙酰丙酮，回流后冷却得溶液B；将溶液A和B混合，回流后得锆钛酸铅前驱体溶液；制备锆钛酸铅前驱体溶胶：将锆钛酸铅前驱体溶液蒸发浓缩，搅拌，挑丝，浓缩得锆钛酸铅前驱体溶胶；拉丝得锆钛酸铅凝胶纤维；把锆钛酸铅凝胶纤维老化后烘干，热处理。
一种锆钛酸铅陶瓷纤维制备方法

[发明专利]锆酸钛酸铅基陶瓷粉末的制备方法,压电陶瓷及其制备方法和压电陶瓷元件-CN02800254.7有效
发明人：滩研一;冈田一成;木田雅隆 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2002-02-05 - 公布日： 2003-11-19 - 主分类号： C04B35/493 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用固相方法制备含有均匀良好锆酸钛酸铅的锆酸钛酸铅基粉末的方法。该方法包括将氧化铅粉末、氧化锆粉末和氧化钛粉末混合成混合的基本粉末；热处理该混合的基本粉末，使氧化铅粉末中的氧化铅和氧化钛粉末中的氧化钛反应形成钛酸铅，并且使未用于该反应中的未反应的氧化铅、反应形成的钛酸铅和氧化锆粉末中的氧化锆反应形成含锆酸钛酸铅的锆酸钛酸铅基陶瓷粉末
锆酸钛酸铅基陶瓷粉末制备方法压电及其元件

[发明专利]微粒锆钛酸铅、锆钛水合物和钛酸锆及其制备方法-CN200580046079.0有效
发明人：格哈德·奥尔;霍斯特·贡内尔;弗兰克·希普勒;米夏埃尔·J·霍夫曼;苏珊·瓦格纳;汉斯·孔格尔 -专利权人：多诺克斯颜料股份有限公司
申请日： 2005-12-13 - 公布日： 2008-01-02 - 主分类号： C01G25/00 文献下载
摘要：本发明涉及微粒锆钛酸铅、锆钛水合物和钛酸锆及其制备方法。本发明还涉及微粒钛酸锆和锆钛酸铅，以及通过将二氧化钛颗粒与锆化合物或者铅和锆化合物反应对其进行制备的方法。其中所述二氧化钛颗粒具有大于50m²/g的BET表面积。锆钛酸铅可用于生产微电子元件。
微粒锆钛酸铅水合物钛酸锆及其制备方法

[发明专利]锆钛酸铅95/5多孔陶瓷的制备方法-CN201010117938.3无效
发明人：樊慧庆;邱少君 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-03-04 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： C04B38/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种锆钛酸铅95/5多孔陶瓷的制备方法，用于解决现有技术制备方法制备的锆钛酸铅95/5多孔陶瓷孔径分布均匀性差的技术问题，其技术方案是将硫酸钛∶氧氯化锆∶乙酸铅∶柠檬酸∶乙二醇的摩尔比按1∶19∶20∶160∶160配料，制备出聚酯凝胶体，将聚酯凝胶体热解，得到聚合物前驱体，由聚合物前驱体制备得到锆钛酸铅95/5粉体，将锆钛酸铅95/5粉体冷等静压成型，制成锆钛酸铅95/5多孔陶瓷。由于本法用Pechini法的一步热解工艺制备锆钛酸铅95/5粉体，所得粉体不添加成孔剂烧成锆钛酸铅95/5多孔陶瓷，制备的锆钛酸铅95/5多孔陶瓷的孔径小且分布均匀，陶瓷体的粒径也很小，陶瓷体的密度通过烧结条件来控制
锆钛酸铅 95 多孔陶瓷制备方法

[发明专利]在钛酸四正丁酯中制备锆钛酸铅95/5多孔陶瓷的方法-CN201010117940.0无效
发明人：樊慧庆;邱少君 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2010-03-04 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：本发明公开了一种在钛酸四正丁酯中制备锆钛酸铅95/5多孔陶瓷的方法，用于解决现有技术制备方法制备的锆钛酸铅95/5多孔陶瓷孔径分布均匀性差的技术问题，其技术方案是将乙二醇∶柠檬酸∶硝酸铅∶硝酸氧锆∶钛酸四正丁酯的摩尔比按800∶200∶20∶19∶1配料，制备出聚酯凝胶体，将聚酯凝胶体热解，得到聚合物前驱体，由聚合物前驱体制备得到锆钛酸铅95/5粉体，将锆钛酸铅95/5粉体冷等静压成型，制成锆钛酸铅95/5多孔陶瓷。由于本法用Pechini法的一步热解工艺制备锆钛酸铅95/5粉体，所得粉体不添加成孔剂烧成锆钛酸铅95/5多孔陶瓷，制备的锆钛酸铅95/5多孔陶瓷的孔径小且分布均匀，陶瓷体的粒径也很小，陶瓷体的密度通过烧结条件来控制
钛酸四正丁酯中制备锆钛酸铅 95 多孔陶瓷方法

[发明专利]一种柔性锆钛酸铅薄膜的制备方法-CN202010321551.3在审
发明人：徐小科;李效民;刘茜;周真真 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2020-04-22 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开一种柔性锆钛酸铅薄膜的制备方法，在沉积锆钛酸铅薄膜之前，在柔性衬底上沉积金属铂过渡层，所述锆钛酸铅薄膜的沉积方式为磁控溅射，所述锆钛酸铅薄膜的沉积温度为160～200℃。
一种柔性锆钛酸铅薄膜制备方法

[发明专利]制备锆钛酸铅柔性单晶薄膜的方法-CN202110740680.0在审
发明人：吴金良;尹志岗;江奕天;程勇;张兴旺 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：本发明提供了一种制备锆钛酸铅柔性单晶薄膜的方法，包括：在单晶衬底上制备a面氧化锌缓冲层；在a面氧化锌缓冲层上外延生长锆钛酸铅单晶薄膜层，得到复合层结构；将复合层结构置于稀酸溶液中，采用湿法腐蚀工艺腐蚀a面氧化锌缓冲层，得到锆钛酸铅单晶薄膜；将锆钛酸铅单晶薄膜转移至柔性衬底上，得到柔性衬底支撑的锆钛酸铅柔性单晶薄膜。本发明可实现锆钛酸铅外延薄膜的柔性化，制备过程具有严格意义上的可控性及可重复性；本发明制备过程简单、成本低、适用范围广，对实现锆钛酸铅柔性电子器件研制具有重要推动作用。
制备锆钛酸铅柔性薄膜方法

[发明专利]组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜及其制备方法-CN202211486495.4在审
发明人：任传来;钟高阔;曾令平;陈骞鑫;安峰 -专利权人：中国科学院深圳先进技术研究院
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H10N30/081 文献下载
摘要：本申请公开了一种组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜及其制备方法，所述组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜的制备方法包括以下步骤：获取衬底；在所述衬底上沉积形成底电极层；通过移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同含量的锆酸铅和钛酸铅，得到组分梯度变化的锆钛酸铅薄膜。本申请解决了现有技术测试锆钛酸铅薄膜组分与性能之间的关系的准确性较低的技术问题。
组分梯度变化锆钛酸铅薄膜及其制备方法

[发明专利]一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜及其制备方法-CN201910204997.5在审
发明人：邹赫麟;王兴;韩梅 -专利权人：大连瑞林数字印刷技术有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅薄膜及其制备方法，属于压电材料薄膜制备领域。制备步骤：1)将原料钛酸四丁酯加入乙酰丙酮里，搅拌澄清后加入原料乙酸铅和硝酸锆，再加入乙二醇甲醚，最后再加入甲酰胺，制备化学式为Pb_x(Zr_yTi_1‑y)O₃的锆钛酸铅种子层前驱体溶液；2)将锆钛酸铅种子层前驱体溶液沉积在Pt/Ti/SiO₂/Si衬底上，并进行热处理，重复沉积和热处理步骤，制备得到锆钛酸铅种子层；3)在锆钛酸铅种子层上通过射频磁控溅射沉积得到非晶态PZT薄膜，再经热处理后得到(100)择优取向的锆钛酸铅薄膜。采用本发明方法能够制得(100)晶粒择优取向且电性能优异的锆钛酸铅薄膜。
制备锆钛酸铅薄膜锆钛酸铅种子层晶粒择优取向沉积前驱体溶液热处理射频磁控溅射压电材料薄膜热处理步骤乙二醇甲醚钛酸四丁酯乙酰丙酮原料乙酸择优取向电性能非晶态甲酰胺硝酸锆衬底澄清重复

[发明专利]具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法-CN200910218944.5无效
发明人：任巍;朱宛琳;辛红;史鹏;吴小清;陈晓峰;姚熹 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2009-11-13 - 公布日： 2010-06-02 - 主分类号： C04B41/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有(100)晶粒择优取向的锆钛酸铅厚膜的制备方法，步骤如下：a、首先以乙酸铅、四正丁酯锆和钛酸四丁酯为起始原料，乙二醇乙醚为溶剂，乙酰丙酮和甲酰胺为稳定剂，制备化学组成Pb(Zr0.52Ti0.48)TiO3、浓度为0.7～0.8mol/L的锆钛酸铅前驱体溶液；b、将锆钛酸铅前驱体溶液采用旋涂工艺直接沉积在单晶硅基片上，并在热处理炉中依次350℃快速干燥3～5分钟、650℃退火处理3～5分钟，得到单层四方钙钛矿结构的(100)取向锆钛酸铅薄膜；c、重复步骤b操作制备10～30层的(100)取向锆钛酸铅薄膜，得到厚度为1.3～3.9微米的的锆钛酸铅厚膜。
具有 100 晶粒择优取向锆钛酸铅厚膜制备方法

[发明专利]一种锆钛酸铅镧陶瓷粉体及其制备方法和应用-CN201910978898.2在审
发明人：鲁圣国;姚丽丽 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2019-10-15 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：本发明属于无机非金属材料技术领域，公开了一种锆钛酸铅镧陶瓷粉体及其制备方法和应用。该锆钛酸铅镧陶瓷的分子式为PbxLa1‑xZryTi1‑y，x＝0.94，y＝0.52～0.95；所述粉体是将乙酸铅和乙酸镧溶于去离子水中得到铅镧水溶液，正丙醇锆和钛酸四丁酯溶于无水乙醇中得到锆钛醇溶液；再将锆钛醇溶液加入铅镧水溶液中搅拌，制得锆钛酸铅镧混合液；在磁力搅拌下，将氢氧化钾加入锆钛酸铅镧混合液中得到锆钛酸铅镧悬浊液前驱体；将该前驱体在160～180℃进行水热反应，制得锆钛酸铅镧浆料，经离心
一种锆钛酸铅镧陶瓷及其制备方法应用

[发明专利]一种基于压电超晶格的场可调的声开关及其制作方法-CN202310200780.3在审
发明人：唐政华;郑莹美;何姜;罗阳炫 -专利权人：湘南学院
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10N30/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于压电超晶格的场可调的声开关及其制作方法，包括若干锆钛酸铅薄膜，所述锆钛酸铅薄膜通过绝缘黏贴物沿锆钛酸铅薄膜的X轴方向依次黏贴固定在一起形成压电超晶格；锆钛酸铅薄膜均沿Z轴方向进行极化，且相邻锆钛酸铅薄膜的极化方向相反，所述压电超晶格沿锆钛酸铅薄膜的Z轴方向布设有直流外加电场从而形成声开关，通过控制直流外加电场的大小，控制沿锆钛酸铅薄膜的X轴入射的声波的禁带和通带。
一种基于压电晶格可调开关及其制作方法

[发明专利]磊晶成长锆钛酸铅薄膜的方法-CN01136690.7有效
发明人：龙翔澜 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2001-10-26 - 公布日： 2003-04-30 - 主分类号： C30B23/08 文献下载
摘要：一种磊晶成长锆钛酸铅薄膜的方法，其是先以临场的方式在基底上磊晶成长一层氧化镧镍薄膜，其晶型与所需的锆钛酸铅薄膜相同，且晶格参数与所需的锆钛酸铅薄膜相近。接着以临场的方式，在350℃～500℃的温度下，在氧化镧镍薄膜上磊晶成长锆钛酸铅薄膜。
成长锆钛酸铅薄膜方法

[发明专利]一种钛酸铅-锆酸铅纳米复合薄膜及其制备方法-CN202210567803.X有效
发明人：王占杰;邵岩;于海义;白宇;张帆;王超 -专利权人：沈阳工业大学
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： C04B35/491 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛酸铅‒锆酸铅纳米复合薄膜及其制备方法，所述材料的化学成分为PbTiO3:PbZrO3摩尔比为3~12:37，具有钛酸铅纳米粒子均匀地分布在锆酸铅基体上的微观结构特征，其极化特性可以根据钛酸铅与锆酸铅的摩尔比进行调控，由反铁电性变成铁电性。钛酸铅‒锆酸铅纳米复合薄膜具有良好的铁电性，其最大极化强度和剩余极化强度分别为114.6μC/cm2和77.7μC/cm2钛酸铅‑锆酸铅纳米复合薄膜是通过化学溶液沉积法制备的，具有工艺简单、成本低廉、可大面积均匀成膜等优点，将在铁电存储器、铁电阻变存储器和微机电系统等领域具有广阔的应用前景。
一种钛酸铅锆酸铅纳米复合薄膜及其制备方法

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