[发明专利]一种基于复合式支撑平台的激光剥离巨量转移设备

权利要求书

1.一种基于复合式支撑平台的激光剥离巨量转移设备，其特征在于，主要由激光相机系统、玻璃板传送系统和基板传送系统三部分组成；

所述激光相机系统主要包括：大理石平台(1)、激光相机支撑梁(2)、激光相机安装板(3)、左相机组件(4A)、右相机组件(4B)、激光头(5)、左光源(6A)和右光源(6B)；

所述玻璃板传送系统主要包括：左支座(7A)、右支座(7B)、左外导轨(8A)、左内导轨(8B)、右外导轨(8C)、右内导轨(8D)、左直线电机(9A)、右直线电机(9B)、左前限位板(10A)、左后限位板(10B)、右前限位板(10C)、右后限位板(10D)、玻璃板传送架组件(11)、上X向光栅尺(12)、玻璃板载台组件(13)和上Y向光栅尺(14)；

所述基板传送系统主要包括：左导轨(15A)、右导轨(15B)、下X向光栅尺(16)、基板传送架直线电机(17)、前限位块(18A)、后限位块(18B)、基板传送架组件(19)、固定板组件(20)、下Y向光栅尺(21)和磁力支撑调节平台(22)；

大理石平台(1)位于激光相机支撑梁(2)、激光相机安装板(3)、左相机组件(4A)、右相机组件(4B)、激光头(5)、左光源(6A)和右光源(6B)的下方，激光相机支撑梁(2)位于大理石平台(1)上方，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上表面，激光相机安装板(3)位于激光相机支撑梁(2)水平横梁的前表面中心位置，并通过紧固螺钉安装在激光相机支撑梁(2)上，左相机组件(4A)和右相机组件(4B)对称分布于激光相机安装板(3)前表面的左右两侧，并通过紧固螺钉安装在激光相机安装板(3)上，激光头(5)位于激光相机安装板(3)前表面中心位置，激光头(5)位于左相机组件(4A)和右相机组件(4B)中间，并通过紧固螺钉固定在激光相机安装板(3)上，左光源(6A)和右光源(6B)分别位于左相机组件(4A)和右相机组件(4B)下端，并通过紧固螺钉分别固定在左相机组件(4A)和右相机组件(4B)下端，左支座(7A)和右支座(7B)分别位于大理石平台(1)上表面左右两侧，左支座(7A)和右支座(7B)位于激光相机支撑梁(2)内侧，左支座(7A)和右支座(7B)位于左光源(6A)和右光源(6B)的外侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)

上，左外导轨(8A)和左内导轨(8B)对称分布在左支座(7A)上表面，并通过紧固螺钉安装在左支座(7A)上，右外导轨(8C)和右内导轨(8D)对称分布在右支座(7B)上表面，并通过紧固螺钉安装在右支座(7B)上，左直线电机(9A)位于左支座(7A)上表面，左直线电机(9A)位于左外导轨(8A)和左内导轨(8B)之间，并通过紧固螺钉安装在左支座(7A)上，右直线电机(9B)位于右支座(7B)上表面，右直线电机(9B)位于右外导轨(8C)和右内导轨(8D)之间，并通过紧固螺钉安装在右支座(7B)上，左前限位板(10A)和左后限位板(10B)分别位于左支座(7A)前表面上端和后表面上端，并通过紧固螺钉安装在左支座(7A)上，右前限位板(10C)和右后限位板(10D)分别位于右支座(7B)前表面上端和后表面上端，并通过紧固螺钉安装在右支座(7B)上，玻璃板传送架组件(11)位于左外导轨(8A)、左内导轨(8B)、右外导轨(8C)和右内导轨(8D)上，玻璃板传送架组件(11)位于左光源(6A)和右光源(6B)的下方，并通过玻璃板传送架组件(11)底板上的滑块卡在左外导轨(8A)、左内导轨(8B)、右外导轨(8C)和右内导轨(8D)上，上X向光栅尺(12)位于左支座(7A)右侧表面上沿，并通过环氧树脂胶粘在左支座(7A)上，上X向光栅尺(12)读数头位于玻璃板传送架组件(11)前表面左侧，上X向光栅尺(12)读数头位于左支座(7A)的右侧，并通过紧固螺钉安装在玻璃板传送架组件(11)上，玻璃板载台组件(13)位于玻璃板传送架组件(11)上，玻璃板载台组件(13)位于左光源(6A)和右光源(6B)的下方，并通过玻璃板载台组件(13)底端的滑块卡在玻璃板传送架组件(11)上，上Y向光栅尺(14)位于玻璃板传送架组件(11)前挡板内表面上，通过环氧树脂胶固定在玻璃板传送架组件(11)上，上Y向光栅尺(14)读数头位于玻璃板载台组件(13)上表面前侧边缘，上Y向光栅尺(14)读数头位于上Y向光栅尺(14)的后方，并通过紧固螺钉安装在玻璃板载台组件(13)上，左导轨(15A)和右导轨(15B)呈左右对称分布于大理石平台(1)上表面中心线两侧，左导轨(15A)和右导轨(15B)位于左支座(7A)和右支座(7B)内侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，下X向光栅尺(16)位于左导轨(15A)的左侧，下X向光栅尺(16)位于左支座(7A)右侧，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，基板传送架直线电机(17)定子位于大理石平台(1)上表面中心线处，基板传送架直线电机(17)定子位于左导轨(15A)和右导轨(15B)之间，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，前限位块(18A)和后限位块(18B)分别位于大理石平台(1)上表面前侧和上表面后侧，前限位块(18A)和后限位块(18B)位于基板传送架直线电机(17)定子和右导轨(15B)之间，并通过紧固螺钉安装在大理石平台(1)上，基板传送架组件(19)位于左导轨(15A)、右导轨(15B)和基板传送架直线电机(17)定子的上方，基板传送架组件(19)位于玻璃板传送架组件(11)的下方，并通过基板传送架组件(19)底部滑块卡在左导轨(15A)和右导轨(15B)上，固定板组件(20)位于基板传送架组件(19)的上方，通过固定板组件(20)底部的滑块卡在基板传送架组件(19)上，下Y向光栅尺(21)位于基板传送架组件(19)前侧表面，通过环氧树脂胶贴在基板传送架组件(19)上，下Y向光栅尺(21)读数头位于固定板组件(20)前侧表面中心位置，并通过紧固螺钉安装在固定板组件(20)上，磁力支撑调节平台(22)位于固定板组件(20)上方，并通过紧固螺钉安装在固定板组件(20)上。