[发明专利]芯片最高频率的搜索方法、装置和测试设备

说明书

本申请实施例提出了一种芯片最高频率的搜索方法、装置和测试设备，上述芯片最高频率的搜索方法包括：获取待测芯片在目标电压下的预测最高频率；根据所述预测最高频率生成搜索频点集合；采用所述搜索频点集合中的各搜索频点进行最高频率测试，得到所述待测芯片在所述目标电压下的实际最高频率。上述方法实现了快速且准确的探测不同芯片在不同电压下芯片可正常工作的最高频率。

【技术领域】

本申请实施例涉及自动测试技术领域，尤其涉及一种芯片最高频率的搜索方法、装置和测试系统。

【背景技术】

由于芯片制造的过程中存在着工艺偏差，使得不同晶圆之间，同一晶圆不同芯片之间存在偏差，芯片之间(各个coner之间)的性能也存在差异。因此评估测算芯片的最高工作频率就变得很重要。芯片正常工作的最高频率是评价芯片等级分类的重要指标，那么如何测算芯片正常工作的最高频率以及确保其正确性就变得尤其重要。

芯片最高频率Fmax的获取方法通常包括：在芯片可工作的电压范围内选取一个电压值为目标测量电压，将芯片的工作电压固定在目标测量电压值上，在一定范围内遍历芯片的频率，每调整一次频率，就运行一次Fmax测试模式pattern并记录pattern运行的结果，如果pattern测试结果为fail，则认为该频率点为芯片失效值(失效频点)，反之则认为该频率点为芯片可运行的合理值。遍历所有频率点，直到找到芯片可运行的最大临界点，该临界点的频率值即为芯片在该目标测量电压值下的Fmax。

上述芯片Fmax获取方法中提到了“遍历所有频率点”，如果依次遍历芯片的每个频率点运行芯片Fmax测试pattern，那么测试周期太长，无法满足大批量测试需求。因此，提供一种快速且准确的探测不同corner芯片在不同电压下芯片可正常工作的Fmax的方法是本领域技术人员亟需解决的问题。

【发明内容】

本申请实施例提供了一种芯片最高频率的搜索方法、装置和测试设备，以实现快速且准确的探测不同芯片在不同电压下芯片可正常工作的最高频率。

第一方面，本申请实施例提供一种芯片最高频率的搜索方法，包括：获取待测芯片在目标电压下的预测最高频率；根据所述预测最高频率生成搜索频点集合，所述搜索频点集合包括所述预测最高频率对应的搜索频点、比所述预测最高频率的频率值大的N个均匀设置的搜索频点，以及比所述预测最高频率的频率值小的N个均匀设置的搜索频点，相邻的所述搜索频点之间的频率差为预设频率步长，所述N为大于1的正整数；采用所述搜索频点集合中的各搜索频点进行最高频率测试，得到所述待测芯片在所述目标电压下的实际最高频率。

第一方面的有益效果，通过获取待测芯片在目标电压下的预测最高频率；根据所述预测最高频率生成搜索频点集合；采用所述搜索频点集合中的各搜索频点进行最高频率测试，得到所述待测芯片在所述目标电压下的实际最高频率，实现了快速且准确的探测不同芯片在不同电压下芯片可正常工作的最高频率。

在一种可能的实现方式中，所述获取待测芯片在目标电压下的预测最高频率，包括：获取预设数据库中存储的与所述待测芯片对应的目标电压下的多个最高频率，其中，与所述待测芯片对应的目标电压下的多个最高频率是所述待测芯片所属的待测芯片批次中其他芯片在所述目标电压下进行最高频率测试得到的最高频率；对所述多个最高频率采用预设计算方法进行计算得到预测最高频率。

在一种可能的实现方式中，所述对所述多个最高频率采用预设计算方法进行计算得到预测最高频率，包括：对所述多个最高频率进行取中值运算得到预测最高频率。

在一种可能的实现方式中，所述预设数据库中存储的与所述待测芯片对应的目标电压下的多个最高频率的生成方法，包括：对所述待测芯片所属的待测芯片批次进行抽样得到抽样芯片；对所述抽样芯片进行目标电压下的最高频率测试得到最高频率，将得到的最高频率存储到所述预设数据库中。

在一种可能的实现方式中，所述方法还包括：将得到的所述待测芯片在所述目标电压下的实际最高频率存储到所述预设数据库中。