[发明专利]一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置在审

专利信息
申请号: 202210321722.1 申请日: 2022-03-30
公开(公告)号: CN114695206A 公开(公告)日: 2022-07-01
发明(设计)人: 王昕;徐震鸣;丁雪峰;任晓 申请(专利权)人: 无锡红光微电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B1/00;B08B1/02
代理公司: 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 代理人: 江霞
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 工序 洁式基板 压紧 装置
【说明书】:

发明涉及一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置,包括水平设置的压板,所述压板上设置有方孔和四个第一条形槽,四个第一条形槽分别设置在方孔的前侧、后侧、左侧和右侧,所述第一条形槽的两端与方孔中心之间的距离相等,所述压板的顶部和底部通过第一条形槽连通,各第一条形槽内均设置有压紧机构;该用于键合工序的自洁式基板压紧装置,通过调节压条的高度,实现对不同芯片厚度的基板压紧,扩大了适用范围,另外,通过调节方孔左右两侧滚筒的位置,还可以适用于单一单元的基板,进一步扩大了适用范围,而且,通过自动清洁滚筒上的杂质,还可以防止压紧过程中因杂质而使基板损坏。

技术领域

本发明涉及一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置,属于传感器生产技术领域。

背景技术

传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器的特点包括:微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。它是实现自动检测和自动控制的首要环节。传感器的存在和发展,让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官,让物体慢慢变得活了起来。通常根据其基本感知功能分为热敏元件、光敏元件、气敏元件、力敏元件、磁敏元件、湿敏元件、声敏元件、放射线敏感元件、色敏元件和味敏元件等十大类。

传感器在生产过程中,需要将贴装在基板上的芯片通过导线与基板连接,此工序称为键合,而键合期间,为了防止基板翘曲而影响键合精度,需要通过压紧板压紧基板,传统的压紧板的底部为四个压条合围成的回形压框,且压条厚度一定,而不同型号的传感器上的芯片厚度不同,为了避免压板压到芯片,更换传感器信号时需要更换不同型号压紧板,因此,通常一台键合设备需要配备多个不同型号的压紧板,增加了生产成本,而且,压紧板的底部易粘附杂质,压紧基板过程中,易损伤基板。

因此,需要有一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置,扩大压紧板的适用范围,降低生产设备,另外,实现压紧板的自动清洁,防止损伤基板。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置。

本发明解决上述问题所采用的技术方案为:一种用于键合工序的自洁式基板压紧装置,包括水平设置的压板,所述压板上设置有方孔和四个第一条形槽,四个第一条形槽分别设置在方孔的前侧、后侧、左侧和右侧,所述第一条形槽的两端与方孔中心之间的距离相等,所述压板的顶部和底部通过第一条形槽连通,各第一条形槽内均设置有压紧机构;

所述压紧机构包括压条,所述压条与第一条形槽滑动连接,所述压条上设置有第二条形槽,所述第二条形槽内设置有清洁组件,所述压条的上方设置有升降组件,所述升降组件驱动压条升降;

所述清洁组件包括转动轴,所述转动轴与压条平行,所述转动轴的中端安装有滚筒,所述转动轴通过两个第一轴承与第二条形槽的内壁连接,所述滚筒位于两个第一轴承之间,所述滚筒的底部位于压条的下方,所述第二条形槽内设置有两个刮杆,两个刮杆中,其中一个该干位于滚筒的靠近方孔的一侧,另一个刮杆位于滚筒的另一侧,所述刮杆与转动轴平行,所述刮杆固定设置在第二条形槽的内壁上,所述刮杆与滚筒贴合,所述转动轴上设置有两个转动单元,所述转动轴位于两个转动单元之间;

所述转动单元包括连接块和升降杆,所述连接块固定设置在第二条形槽的内壁上,所述升降杆竖向活动穿过连接块,所述升降杆的顶端通过第一弹簧与连接块连接,所述升降杆的底端位于滚筒的下方,所述升降杆的顶端设置有转动部件,所述转动部件与转动轴连接。

作为优选,所述转动部件包括设置在连接块和转动轴之间的滚珠丝杠副,所述滚珠丝杠副的螺杆与转动轴同轴设置,所述滚珠丝杠副的螺杆固定设置在转动轴上,所述滚珠丝杠副的螺母通过第一连杆与升降杆的顶端铰接,所述第一连杆倾斜设置。

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