[发明专利]光检测装置

权利要求书

1.一种光检测装置，包括：

半导体基板，所述半导体基板包括浮置扩散节点；以及

配线层，所述配线层包括：

第一配线，所述第一配线连接至所述浮置扩散节点；

第一中空区域；和

第二中空区域，其中，所述第一中空区域、所述第一配线和所述第二中空区域依次排列在特定方向上。

2.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述特定方向是水平方向。

3.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，所述特定方向是垂直方向。

4.根据权利要求1所述的光检测装置，其中，

所述配线层还包括：

第二配线，所述第二配线不同于所述第一配线；以及

第三中空区域，并且

所述第一配线、所述第三中空区域和所述第二配线依次排列在水平方向上。

5.根据权利要求4所述的光检测装置，其中，所述第三中空区域包括在所述第一配线与所述第二配线之间的第一区域的至少一部分。

6.根据权利要求4所述的光检测装置，还包括：

传输晶体管，其中，

所述配线层还包括：

第三配线，所述第三配线连接至所述传输晶体管；以及

第四中空区域，并且

所述第四中空区域包括在所述第一配线与所述第三配线之间的第二区域的至少一部分。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的光检测装置，其中，所述第一配线不接触所述第一中空区域和所述第二中空区域中的每一者。

8.一种光检测装置，包括：

半导体基板，所述半导体基板包括浮置扩散节点；

放大晶体管；以及

配线层，所述配线层包括：

第一配线，所述第一配线连接所述浮置扩散节点和所述放大晶体管；和

第一中空区域，其中，所述第一配线、所述第一中空区域和所述放大晶体管依次排列在特定方向上。

9.根据权利要求8所述的光检测装置，其中，所述特定方向是水平方向。

10.根据权利要求8所述的光检测装置，其中，所述特定方向是垂直方向。

11.根据权利要求8所述的光检测装置，其中，

所述配线层还包括：

第二配线，所述第二配线不同于所述第一配线；以及

第二中空区域，并且

所述第一配线、所述第二中空区域和所述第二配线依次排列在水平方向上。

12.根据权利要求11所述的光检测装置，其中，所述第二中空区域包括在所述第一配线与所述第二配线之间的第一区域的至少一部分。

13.根据权利要求11所述的光检测装置，还包括：

传输晶体管，其中，

所述配线层还包括：

第三配线，所述第三配线连接至所述传输晶体管；以及

第三中空区域，并且

所述第三中空区域包括在所述第一配线与所述第三配线之间的第二区域的至少一部分。

14.根据权利要求8至10中任一项所述的光检测装置，其中，所述第一配线不接触所述第一中空区域。