[发明专利]取卡装置

说明书

本发明提供一种取卡装置，其包括：固定支架和取卡组件；所述取卡组件包括第一导轨和插杆，所述插杆沿所述第一导轨的轴向可移动地与所述第一导轨连接；所述插杆用于沿所述第一导轨的轴向移动以穿入探针卡的把手；所述固定支架包括与所述第一导轨成角度布置的第二导轨，所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向可移动地与所述第二导轨连接；所述取卡组件用于在所述插杆穿入所述把手后，沿所述第二导轨的轴向移动，以驱动所述探针卡沿所述第二导轨的轴向移动。如此配置，取卡组件在插杆穿入探针卡的把手后，沿第二导轨的轴向移动，以驱动探针卡沿第二导轨的轴向移动并与基座分离，有效解决了手动提取探针卡时易倾斜而导致限位脚以及探针卡的损坏问题。

技术领域

本发明涉及一种半导体制造领域，尤其是一种取卡装置。

背景技术

现有的取卡操作需要由现场人员手动提取，在取卡过程中，由于设备的限位脚与探针卡之间存在摩擦力，在向上提时需要一定力度，非常容易导致探针卡因受力不均而产生倾斜，从而使限位脚受力变形，影响使用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种取卡装置，以解决手动提取探针卡时易倾斜导致限位脚及探针卡损坏的问题。

为了达到上述目的，本发明提供了一种取卡装置，包括：固定支架和取卡组件；

所述取卡组件包括第一导轨和插杆，所述插杆沿所述第一导轨的轴向可移动地与所述第一导轨连接；所述插杆用于沿所述第一导轨的轴向移动以穿入探针卡的把手；

所述固定支架包括与所述第一导轨成角度布置的第二导轨，所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向可移动地与所述第二导轨连接；

所述取卡组件用于在所述插杆穿入所述把手后，沿所述第二导轨的轴向移动，以驱动所述探针卡沿所述第二导轨的轴向移动。

可选的，所述取卡组件还包括第一滑块，所述第一滑块沿所述第一导轨的轴向可移动地设置于所述第一导轨上，所述插杆的一端于所述第一滑块连接，所述插杆的另一端为自由端，所述自由端用于穿入所述探针卡的把手。

可选的，所述取卡组件还包括第一限位件，所述第一限位件与所述第一导轨连接；所述第一限位件用于与穿过所述把手后的所述插杆连接，以限制所述插杆沿所述第一导轨的径向的位移。

可选的，所述取卡装置还包括施力组件，所述施力组件与所述取卡组件连接，用于驱动所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向移动。

可选的，所述固定支架包括多个相互平行的第二导轨，所述取卡组件还包括第一连接横杆和多个第二滑块，所述第二滑块沿所述第二导轨的轴向可移动地设置于所述第二导轨上，所述第二滑块与所述第二导轨一一对应；多个所述第二滑块通过所述第一连接横杆相连接；

所述第一导轨与所述第一连接横杆或所述第二滑块连接。

可选的，所述取卡组件还包括第二限位件，所述第二限位件与所述取卡组件连接，且所述第二限位件用于抵靠所述探针卡的基座，以限制所述取卡组件朝向所述基座的移动行程。

可选的，所述固定支架还包括固定件，至少所述第二导轨的顶端与所述固定件连接，所述固定件用于与所述取卡组件抵靠，以限制所述取卡组件沿所述第二导轨的轴向的移动行程。

可选的，所述第二导轨的底端与所述固定件连接，所述固定件用于与所述探针卡的基座抵靠，以限制所述取卡组件朝向所述基座的移动行程。

可选的，所述固定支架还包括第二连接横杆，位于所述第二导轨的顶端的所述固定件通过所述第二连接横杆相连接。

可选的，所述第一导轨的轴向与所述第二导轨的轴向相互垂直。