[发明专利]高斯光斑空间强度峰值自动化寻址方法和装置

权利要求书

1.一种高斯光斑空间强度峰值自动化寻址方法，其特征在于，包括：

将X-Z二维运动平台(4)、运动控制卡(9)和计算机(10)依次设置在泵浦光和探测光经过待测样品(3)的反射探测光路上；将光阑(7)安装在光电探测器(8)前端；将光电探测器(8)安装在X-Z二维运动平台(4)上；

已知探测光斑直径为D，依据光斑位置粗调节光电探测器(8)位置，使光斑中心大致位于光电探测器(8)前端的光阑(7)中心处，此时光电探测器(8)的位置坐标记为(x₀，z₀)；

固定z轴方向位置不变，由计算机(10)设定运动控制卡(9)沿x轴方向由(x₀-D/2)以D/20的步长移动到(x₀+D/2)，并且每移动一个步长，光电探测器(8)输出一个光强信号，由计算机(10)记录信号强度及对应的坐标信息；

计算机(10)将记录到的所述信号强度与所述对应的坐标信息拟合出高斯曲线，并将所述高斯曲线峰值对应的x轴坐标x_max设定给运动控制卡(9)，运动控制卡(9)控制光电探测器(8)沿x轴方向移至(x_max，z₀)；

固定x轴方向位置不变，由计算机(10)设定运动控制卡(9)沿z轴方向由(z₀-D/2)以D/20的步长移动到(z₀+D/2)，并且每移动一个步长，光电探测器(8)输出一个光强信号，由计算机(10)记录信号强度及对应的坐标信息；

计算机(10)将记录到的所述信号强度与所述对应的坐标信息拟合出高斯曲线，并将所述高斯曲线峰值对应的z轴坐标z_max设定给运动控制卡(9)，运动控制卡(9)控制光电探测器(8)沿z轴方向移至(x_max，z_max)；(x_max，z_max)即为高斯光斑空间强度峰值位置坐标；

依据光斑尺寸以及实际准确度需求，改变步长多次重复、迭代以上过程，完成高斯光斑空间强度峰值自动化寻址。

2.一种用于实施权利要求1所述的高斯光斑空间强度峰值自动化寻址方法的高斯光斑空间强度峰值自动化寻址装置，其特征在于，包括：泵浦光路装置(1)、探测光路装置(2)、X-Z二维运动平台(4)、光电探测器(8)、光阑(7)、第一步进电机(5)、第二步进电机(6)、运动控制卡(9)以及计算机(10)；其中：

所述泵浦光路装置(1)输出的泵浦光垂直照射待测样品(3)；

所述探测光路装置(2)输出的探测光以接近垂直的角度照射待测样品(3)；

所述X-Z二维运动平台(4)、运动控制卡(9)和计算机(10)依次设置在经过待测样品(3)的反射探测光路上；

所述光阑(7)安装在所述光电探测器(8)前端；

所述光电探测器(8)安装在所述X-Z二维运动平台(4)上；

所述第一步进电机(5)和所述第二步进电机(6)与所述X-Z二维运动平台(4)驱动连接，并与所述运动控制卡(9)控制连接；

所述运动控制卡(9)的输入端和所述光电探测器(8)的输出端分别与所述计算机(10)相连。

3.根据权利要求2所述的高斯光斑空间强度峰值自动化寻址装置，其特征在于，所述第一步进电机(5)和所述第二步进电机(6)带动所述X-Z二维运动平台(4)在X轴和Z轴两个方向以设定的步长自动进行移动。

4.根据权利要求2所述的高斯光斑空间强度峰值自动化寻址装置，其特征在于，所述光阑(7)用于对所述反射探测光进行筛选。