[发明专利]参数化单元数据计算方法和参数化单元在审

专利信息
申请号: 202210256965.1 申请日: 2022-03-16
公开(公告)号: CN114707447A 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 许猛勇;郑舒静;于明 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G06F30/33 分类号: G06F30/33
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦东新区中*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 参数 单元 数据 计算方法
【权利要求书】:

1.一种参数化单元,其特征在于,所述参数化单元包括:

第一列表模块,所述第一列表模块用于存储半导体器件参数矩阵中各参数元素的虚部数值;

第二列表模块,所述第二列表模块用于存储所述半导体器件参数矩阵中各参数元素的实部数值;

数值提取模块,所述数值提取模块用于根据参数计算请求,从所述第一列表模块中,提取所述参数计算请求所需的所有虚部数值,和/或根据所述参数计算请求,从所述第二列表模块中,提取所述参数计算请求所需的所有实部数值;

运算模块,所述运算模块用于根据所述参数计算请求,对所述数值提取模块提取的虚部数值,和/或实部数值进行运算,并反馈运算结果给所述第一列表模块或所述第二列表模块。

2.如权利要求1所述的参数化单元,其特征在于,所述半导体器件参数矩阵中的参数元素为在频域上的频谱信号;

每个所述参数元素包括表征所述频谱信号相位信息的所述虚部数值,和表征所述频谱信号幅度信息的所述实部数值。

3.如权利要求1或2所述的参数化单元,其特征在于,所述参数元素包括:输入信号反射损失参数元素、输出信号反射损失参数元素、输入信号传输馈入损失参数元素和输出信号传输馈入损失参数元素。

4.如权利要求1所述的参数化单元,其特征在于,所述第一列表模块还用于存储所述运算模块反馈的运算结果。

5.如权利要求1所述的参数化单元,其特征在于,所述第二列表模块还用于存储所述运算模块反馈的运算结果。

6.一种参数化单元数据计算方法,其特征在于,所述参数化单元数据计算方法包括以下步骤:

获取半导体器件参数矩阵;所述半导体器件参数矩阵为,在频域下影响所述半导体器件多种特性的参数元素的集合,各个所述参数元素为频域上的复数信号;

存储所述半导体器件参数矩阵中各参数元素的虚部数值于第一列表模块中;

存储所述半导体器件参数矩阵中各参数元素的实部数值于第二列表模块中;

获得参数计算请求;

根据所述参数计算请求,从所述第一列表模块中,提取所述参数计算请求所需的所有虚部数值,和/或根据所述参数计算请求,从所述第二列表模块中,提取所述参数计算请求所需的所有实部数值;

根据所述参数计算请求,对所述数值提取模块提取的虚部数值,和/或实部数值进行运算,并反馈运算结果给所述第一列表模块或所述第二列表模块。

7.如权利要求4所述的参数化单元数据计算方法,其特征在于,所述半导体器件参数矩阵中的参数元素为在频域上的频谱信号;

每个所述参数元素包括表征所述频谱信号相位信息的所述虚部数值,和表征所述频谱信号幅度信息的所述实部数值。

8.如权利要求4所述的参数化单元数据计算方法,其特征在于,所述参数化单元数据计算方法还包括:

所述第一列表模块或所述第二列表模块存储所述运算结果。

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