[发明专利]一种基于电子束毛化的电子器件散热结构及其制造方法

权利要求书

1.一种基于电子束毛化的电子器件散热结构，包括散热板(1)和方柱结构(2)，其特征在于：

所述基于电子束毛化的亲疏水结合电子器件散热结构，散热板(1)上方设置有若干个毫米级的方柱结构(2)，各个方柱结构(2)的截面尺寸相同，高度相同，间距相同，在每个方柱结构(2)之间的散热板的上表面为柱间亲水区域(3)，在每个方柱结构(2)上有不同润湿性的区域，每个方柱结构(2)周向的四个表面为方柱周向亲水区域(4)，每个方柱结构(2)的顶部的表面为方柱顶部疏水区域(5)，使得本散热结构实现紧密的亲疏水相结合，沸腾换热过程中，方柱周向亲水区域(4)能够及时将冷却工质补给至沸腾换热区域，方柱顶部疏水区域(5)能够持续产生汽泡，利用冷却工质的相变带走热量。

2.根据权利要求1所述的基于电子束毛化的电子器件散热结构，其特征在于：

所述方柱结构(2)呈方形阵列分布在散热板上，散热板的长度和宽度都为L，L取值为10-50mm，方柱结构均匀填充满散热板，方形阵列的尺寸为L*L。

3.根据权利要求1所述的基于电子束毛化的电子器件散热结构，其特征在于：

所述散热板(1)上每个方柱结构截面为正方形，边长为a，a的取值为200μm-500μm。

4.根据权利要求1所述的基于电子束毛化的电子器件散热结构，其特征在于：

所述散热板(1)上每个方柱结构之间的间距都为a。

5.根据权利要求1所述的基于电子束毛化的电子器件散热结构，其特征在于：

所述散热板(1)上每个方柱结构的高度都为h，h取值为2mm-3mm。

6.一种利用权利要求1所述基于电子束毛化的电子器件散热结构的制造方法，其特征在于包括下述步骤：

步骤一：在散热板上加工呈方形阵列分布的方柱结构，通过线切割进行多次横纵交错的加工制作出出每个方柱结构；

步骤二：将步骤一中的散热板放入超声波清洗机中用酒精清洗30-60s，用酒精冲洗并吹干散热板；

步骤三：配制质量分数为37％的硫酸作为刻蚀液，将步骤二中的散热板放入刻蚀液中，等待60min，在相邻方柱结构之间的散热板表面上生成柱间亲水区域，方柱结构周向的四个表面上生成方柱周向亲水区域；

步骤四：将步骤三中的散热板放入超声波清洗机中用酒精清洗30-60s，用酒精冲洗并吹干散热板；

步骤五：将步骤四中的散热板放入电子束毛化设备，使电子束仅对方柱结构顶部表面进行一定频率和速度的扫描，仅在方柱结构顶部表面生成毛化结构，作为散热板表面的方柱顶部疏水区域；该毛化结构的毛刺高度为300-400μm，毛刺间距为80-150μm；

步骤六：将步骤五中的散热板放入超声波清洗机中用酒精清洗30-60s，用酒精冲洗并吹干散热板。