[发明专利]设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质

说明书

本申请提供一种设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质，涉及半导体技术领域。该方法包括：获取生产设备的第一组运行参数、第一组运行参数在预设历史时间段内对应的多个第一生产结果参数以及针对多个第一生产结果参数的评价分值后，根据第一组运行参数、多个第一生产结果参数以及评价分值，采用预设的监督学习数据模型，得到生产设备的第二组运行参数，用以使得生产设备以第二组运行参数进行运行。相较于人工的设备参数调试确定方法而言，在参数确定中通过引入监督学习模型，减少了人工参与，使得设备的参数确定不依赖于操作人员的知识水平和行业经验通过根据获取的数据信息，能够快速有效得到可观提高设备生产效率的第二组运行参数。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质。

背景技术

目前半导体行业内，调整去胶机、刻蚀机、CVD等半导体设备参数时，通常是通过不断的使设备运行相关流程，通过人工分析比对不同的参数及相关的运行结果，推算合理的设备参数组合，然后再用新的设备参数组合运行相关流程，再不断的如此反复操作，直到选出一组能使设备运行效率最高的参数组合。

这种参数调整方法需要进行大量的运行试验才能够得到最终结果，调整速度慢，且推算得到的最佳参数组合精度低。

发明内容

本发明的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种设备运行参数确定方法、装置、电子设备及存储介质，以便使得设备参数无限逼近合理值，从而能使设备更好发挥性能。

为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本申请实施例提供了一种设备运行参数确定方法，所述方法包括：

获取生产设备的第一组运行参数，以及所述第一组运行参数在预设历史时间段内对应的多个第一生产结果参数；

获取针对所述多个第一生产结果参数的评价分值；

根据所述第一组运行参数、所述多个第一生产结果参数以及所述评价分值，采用预设的监督学习数据模型，得到所述生产设备的第二组运行参数，用以使得所述生产设备以所述第二组运行参数进行运行。

可选的，所述根据所述第一组运行参数、所述多个第一生产结果参数以及所述评价分值，采用预设的监督学习数据模型，得到所述生产设备的第二组运行参数，包括：

根据所述第一组运行参数、所述多个第一生产结果参数以及所述第一组运行参数对应的设备运行时间生成三维图形；

对所述三维图形进行去噪处理；

根据所述第一组运行参数、去噪处理后的三维图形中生产结果维度的生产结果参数，以及对应的所述评价分值，采用所述监督学习数据模型，得到所述第二组运行参数。

可选的，所述对所述三维图形进行去噪处理，包括：

对所述三维图形进行小波分解，得到多层小波信号；

根据预设小波系数阈值，对所述多层小波信号进行阈值处理，得到去噪后的多层小波信号；

根据所述去噪后的多层小波信号，得到所述去噪处理后的三维图形。

可选的，所述对所述三维图形进行小波分解，得到多层小波信号，包括：

采用预设的正交小波基和预设分解层数，对所述三维图形进行小波分级，得到数量等于所述预设分解层数的所述多层小波信号，所述预设分解层数为四。

可选的，对所述多层小波信号进行阈值处理，得到去噪后的多层小波信号，包括：