[发明专利]一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法及屏蔽玻璃

权利要求书

1.一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、对内表面具备金属网栅结构的曲面玻璃的中部进行遮挡，在其内表面沉积金靶材形成金属膜层，使其与金属网栅形成良好的电连接性能；

S2、在S1沉积金靶材的曲面玻璃内外表面，交替沉积折射率不同的电介质靶材，形成减反增透膜层。

2.根据权利要求1所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于，所述S1中金靶材采用金、银、铜中的任一种；

所述S1中，内表面具备金属网栅结构的曲面玻璃采用以下方法制得：在曲面玻璃的内表面涂覆光刻胶，将金属网栅结构掩膜置于光刻胶表面，对掩膜后的光刻胶进行曝光，显影后得到内表面具备轮廓图形的曲面玻璃；在显影后的曲面玻璃的内表面制备金属膜层，形成金属网栅结构。

3.根据权利要求2所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于：利用电子束蒸镀沉积金靶材，电子束功率为1500W，利用离子束辅助沉积，沉积温度为60℃，工作气压8Pa，氩气流量75sccm，在具备轮廓图形的曲面玻璃内表面制备1000nm厚度的金属膜层，最后清洗曲面玻璃内表面多余的光学胶，形成金属网栅结构。

4.根据权利要求3所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于：沉积时，具备轮廓图形的曲面玻璃位于可自转和公转的工装上。

5.根据权利要求2所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于：金属网栅结构掩膜为激光直写技术将金属刻蚀成随机的网栅结构，其网栅线径在5～10微米左右，实现纵深比1:1。

6.根据权利要求2所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于：在曲面玻璃的内表面涂覆光刻胶前，先对曲面玻璃进行预处理；所述预处理是指：采用圆柱形金刚石磨削曲面玻璃的端面和外圆，使用不同粒度的金刚石球形磨头磨内球面，依次进行粗磨、半精磨、精磨，最后抛光备用。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于，所述S1中：所述曲面玻璃的材质采用蓝宝石、硒化锌、氟化镁中的任一种；曲面玻璃厚度为2～5mm，直径为～Φ120mm。

8.根据权利要求1所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于，其特征在于，所述S2中：交替沉积氟化镁和硫化锌形成减反增透膜层。

9.根据权利要求1或8所述的一种激光高透曲面屏蔽玻璃制备方法，其特征在于，其特征在于，所述S2中：利用电子束蒸镀在具备金属网栅结构的曲面玻璃内外表面交替沉积，沉积温度为180℃，工作气压8Pa，氩气流量75sccm，沉积功率2700W。

10.根据权利要求1所述制备方法的一种激光高透曲面屏蔽玻璃，其特征在在于：包括内表面设有金属网栅的曲面玻璃本体，所述曲面玻璃本体的内外表面均设有减反增透膜。