[发明专利]声表面波谐振器、以及具有该谐振器的声表面波滤波器在审
申请号: | 202210171484.0 | 申请日: | 2022-02-24 |
公开(公告)号: | CN114531136A | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 许欣 | 申请(专利权)人: | 广东广纳芯科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25;H03H9/64;H03H9/02;H03H3/08 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 殷明 |
地址: | 510700 广东省广州市黄*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 表面波 谐振器 以及 具有 滤波器 | ||
1.一种声表面波谐振器,在其中传播声表面波,其特征在于,包括:
压电衬底;以及
叉指换能器,该叉指换能器具有:
第一汇流条,该第一汇流条设置在所述压电衬底上,具有至少一个第一弧形部以及至少一个第一长条形部;
第二汇流条,该第二汇流条设置在所述压电衬底上,具有至少一个第二弧形部以及至少一个第二长条形部,所述第二汇流条与所述第一汇流条具有相同的形状;
多个第一电极指,该多个第一电极指设置在所述压电衬底上的所述第一汇流条和所述第二汇流条之间,该多个第一电极指的一端连接到所述第一汇流条;
多个第二电极指,该多个第二电极指设置在所述压电衬底上的所述第一汇流条和所述第二汇流条之间,该多个第二电极指的一端连接到所述第二汇流条,
所述第一弧形部和所述第二弧形部分别朝远离所述第一电极指和所述第二电极指的方向凸出。
2.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
还具有分别设置在所述叉指换能器的两侧的反射栅。
3.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
所述第一汇流条具有多个所述第一长条形部,所述第二汇流条具有多个所述第二长条形部,
所述第一弧形部设置在位于所述第一汇流条的两端的所述第一长条形部之间,
所述第二弧形部设置在位于所述第二汇流条的两端的所述第二长条形部之间。
4.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
所述第一汇流条具有多个所述第一弧形部和多个所述第一长条形部,所述第二汇流条具有多个所述第二弧形部和多个所述第二长条形部,
相邻的所述第一长条形部之间至少连接有1个所述第一弧形部,
相邻的所述第二长条形部之间至少连接有1个所述第二弧形部。
5.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
所述第一长条形部和所述第一弧形部分别至少连接有1个所述第一电极指,
所述第二长条形部和所述第二弧形部分别至少连接有1个所述第二电极指。
6.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
所述声表面波的波长为λ,
2λ≤所述第一弧形部的长度≤10λ,
2λ≤所述第二弧形部的长度≤10λ。
7.如权利要求1至6中任一项所述的声表面波谐振器,其特征在于,
所述叉指换能器还具有:
多个第一假指,该多个第一假指设置在所述压电衬底上的所述第一汇流条和所述第二汇流条之间,该多个第一假指的一端与所述第一汇流条连接,并且另一端与所述第二电极指的另一端隔开间隙地相对;
多个第二假指,该多个第二假指设置在所述压电衬底上的所述第一汇流条和所述第二汇流条之间,该多个第二假指的一端与所述第二汇流条连接,并且另一端与所述第一电极指的另一端隔开间隙地相对。
8.如权利要求7所述的声表面波谐振器,其特征在于,
多个所述第一假指的另一端和多个所述第二假指的另一端分别是齐平的。
9.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
在所述叉指换能器和所述压电衬底上层叠有保护层。
10.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
在所述第一电极指和所述第二电极指分别由层叠体构成。
11.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
在沿声表面波传播方向观察时,所述第一电极指和所述第二电极指的重叠部分的长度全部相同。
12.如权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,
多个所述第一电极指的另一端是齐平的,多个所述第二电极指的另一端是齐平的。
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