[发明专利]一种半导体激光器单发光点性能测试系统

权利要求书

1.一种半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，包括位于半导体激光器一侧且依次设置的位移平台、聚焦耦合结构、光纤接收器以及性能测试器；

所述位移平台的移动方向与半导体激光器的发光点的光束发射方向相垂直；所述位移平台上设有与半导体激光器相对应的狭缝，所述狭缝用于半导体激光器上的单个发光点的光束穿过；

所述聚焦耦合结构与所述狭缝相对应，用于对穿过所述狭缝的光束进行准直且对光束的光斑尺寸进行压缩；

所述光纤接收器设于所述聚焦耦合结构的焦点处，用于接收聚焦压缩后的光束，所述光纤接收器的光纤芯径尺寸大于经过压缩后的光束的光斑尺寸；

所述性能测试器与所述光纤接收器相连接，用于测量和分析光束的性能指标。

2.如权利要求1所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述聚焦耦合结构包括依次设置于所述狭缝和所述光纤接收器之间的准直透镜和聚焦透镜；所述准直透镜用于对穿过所述狭缝的光束进行准直，所述聚焦透镜用于对穿过所述准直透镜的光束的光斑尺寸进行压缩。

3.如权利要求2所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述准直透镜和所述聚焦透镜并列设置。

4.如权利要求1所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述性能测试器包括功率计和光谱仪。

5.如权利要求1所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述聚焦耦合结构、所述光纤接收器以及所述性能测试器均设于所述位移平台上。

6.如权利要求5所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述聚焦耦合结构和所述光纤接收器之间设有分束器和与位于所述分束器一侧的位置探测器，聚焦压缩后的光束进入所述分束器内，并被所述分束器分为两束，两束光束分别进入所述光纤接收器和所述位置探测器中。

7.如权利要求6所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述半导体激光器单发光点性能测试系统还包括：

控制器；所述位移平台和所述位置探测器均与所述控制器连接。

8.如权利要求6所述的半导体激光器单发光点性能测试系统，其特征在于，所述光纤接收器和所述位置探测器对称设于所述分束器的分束界面两侧。