[发明专利]一种柔性神经电极、制备方法及设备

权利要求书

1.一种用于深部脑区检测的柔性神经电极，其特征在于，包括：柔性植入部和后端接口部(2)；

所述柔性植入部包括至少一个柔性探针(1)，所述柔性探针(1)的一端与所述后端接口部(2)连接，所述柔性探针(1)用于植入生物体的深部脑区；

所述柔性探针(1)包括金属电极和柔性支撑层，所述金属电极设置在所述柔性支撑层内；

所述柔性支撑层上设置有电极孔，所述金属电极通过所述电极孔露出所述柔性支撑层形成电极点(111)；

所述柔性支撑层的材质为聚亚酰胺。

2.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性探针(1)包括电极点区(110)和过渡区(120)；

所述过渡区(120)的一端与所述电极点区(110)连接，所述过渡区(120)的另一端与所述后端接口部(2)连接；

所述电极点区(110)具有预设数量的所述电极点(111)。

3.根据权利要求2所述的柔性神经电极，其特征在于，所述电极点区(110)远离所述过渡区(120)的一端设置有牵引孔(130)，所述牵引孔(130)用于与牵引器械(3)连接，以引导所述柔性探针(1)植入生物体的深部脑区。

4.根据权利要求2所述的柔性神经电极，其特征在于，所述预设数量为50-200，所述电极点(111)在所述电极点区(110)按预设阵列分布。

5.根据权利要求4所述的柔性神经电极，其特征在于，相邻所述电极点(111)之间的间距为100μm-200μm。

6.根据权利要求1-5任一项所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性探针(1)的长度为10mm-40mm；

所述柔性探针(1)的径向尺寸为0.1mm-1mm；

所述电极点区(110)的长度为4mm-40mm。

7.根据权利要求1所述的柔性神经电极，其特征在于，所述柔性植入部包括4个所述柔性探针(1)；

相邻所述柔性探针(1)之间具有预设间距，所述预设间距为1mm-5mm。

8.根据权利要求1或7所述的柔性神经电极，其特征在于，所述后端接口部(2)包括转接区(210)和焊盘区(220)；

所述转接区(210)的一侧与所述柔性探针(1)连接，所述转接区(210)的另一侧所述焊盘区(220)连接；

所述转接区(210)用于将所述金属电极转接到所述焊盘区(220)；

所述焊盘区(220)用于与后端处理电路连接。

9.一种用于深部脑区检测的柔性神经电极制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在支撑衬底(410)上制备第一聚酰亚胺柔性薄膜(430)；所述第一聚酰亚胺柔性薄膜(430)包括柔性植入部和后端接口部(2)；

在所述聚酰亚胺柔性衬底上制备图形化的金属导电层(440)；其中，所述金属导电层(440)包括制备在所述柔性植入部的金属电极和制备在所述后端接口部(2)的焊盘导电层；

在所述金属导电层(440)和所述第一聚酰亚胺柔性薄膜(430)上制备第二聚酰亚胺柔性薄膜(450)；

对所述第二聚酰亚胺柔性薄膜(450)进行刻蚀，以使所述金属电极露出所述第二聚酰亚胺柔性薄膜(450)形成电极点(111)；

去除所述柔性植入部所对应的支撑衬底(410)，得到所述柔性神经电极。

10.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括如权利要求1-8任一项所述的用于深部脑区检测的柔性神经电极。