[发明专利]一种双层手性微纳结构及其制备方法

权利要求书

1.一种双层手性微纳结构，其特征在于，包括衬底、第二贵金属层、透明介质层、第一贵金属层，所述透明介质层置于所述衬底上，所述第一贵金属层置于所述透明介质层上，所述第一贵金属层和所述透明介质层内设有贯穿的L形孔洞，所述L形孔洞周期排布，所述L形孔洞包括孔洞第一臂和孔洞第二臂，所述第二贵金属层包括周期排布的纳米棒，所述纳米棒置于所述衬底上所述孔洞第二臂内。

2.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述衬底的材料为导电玻璃。

3.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述L形孔洞为直角L形。

4.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述第一贵金属层和所述第二贵金属层的材料为金或银。

5.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述纳米棒的厚度小于所述透明介质层的厚度。

6.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述透明介质层的材料为PMMA。

7.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述L形孔洞排布的周期为矩形周期。

8.如权利要求1所述的双层手性微纳结构，其特征在于：所述孔洞第一臂和所述孔洞第二臂的方向平行于所述矩形周期的两边。

9.如权利要求1-8任一项所述的双层手性微纳结构的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括如下步骤：

步骤1、准备所述衬底：根据实际需要，用玻璃刀将导电玻璃切割成边长为1cm的小方块，注意保持每个小方块边角的完整性；接下来是对所述衬底的清洗工作，先分别用丙酮和酒精对其超声清洗15分钟，再用去离子水超声清洗3分钟，最后用氮气将清洗好的所述衬底吹干以备待用；

步骤2、甩胶：打开匀胶机电源，设定好时间60s和转速4000rpm，用万用表测出衬底的正反面，将其正面朝上吸附于匀胶机样品盘上；冰箱里取出PMMA(AR-P 672.03)，吸管吸取PMMA一滴，滴于所述衬底中心，打开匀胶机开关进行甩胶；

步骤3、加热：打开加热板电源，温度设定至150℃，匀胶机中取出甩好PMMA的衬底置于加热板上加热，其目的主要是对衬底上PMMA的烘干，3min后取出衬底层置于样品盒；

步骤4、电子束曝光：将Spot设为3，HV设为15KV，曝光剂量设为100μC/cm²，调整像散，做好校准工作，选定曝光位置，开始对预先设计好的L形孔洞图形进行曝光；

步骤5、显影和定影：曝光完的样品放入显影液，停留60s；接着放入定影液，停留30s，之后取出置于样品盒；

步骤6、镀膜：镀膜前，衬底贴于电子束蒸发镀膜仪中的样品盘后对其抽真空，当腔内压强达到4×10^-6torr方可开始镀膜；沉积方向为θ＝89.3°和φ＝0°，其中，θ表示极化角，是指样品台法线方向与贵金属蒸镀束流之间的夹角；表示方位角，是指贵金属蒸镀束流在样品台上的投影与水平坐标轴之间的夹角。