[发明专利]保护膜组件、光掩膜版、光刻机及由其制作的产品

权利要求书

1.一种保护膜组件，其特征在于，适用于光掩膜版，所述保护膜组件包括保护膜(20)和用于支撑所述保护膜(20)的支撑架(10)，所述支撑架(10)包括：

第一架体(1)，所述第一架体(1)设置于所述光掩膜版的基底(100)上；

第二架体(2)，所述第二架体(2)上安装有所述保护膜(20)；

其中，所述第一架体(1)和所述第二架体(2)可拆卸地连接。

2.根据权利要求1所述的保护膜组件，其特征在于，所述支撑架(10)还包括：

插头(3)，设置在所述第一架体(1)和所述第二架体(2)中的一个上；

凹槽(4)，设置在所述第一架体(1)和所述第二架体(2)中的另一个上；

其中，所述插头(3)与所述凹槽(4)之间插接配合。

3.根据权利要求2所述的保护膜组件，其特征在于，所述插头(3)和所述凹槽(4)之间通过按压锁扣连接，所述按压锁扣包括：

卡槽(5)，设置在所述插头(3)上；

锁扣组件(6)，包括外壳(65)和相对于所述外壳(65)可运动地设置的锁扣(61)，所述外壳(65)设置在所述凹槽(4)内，所述锁扣(61)的一部分位于所述外壳(65)内，所述锁扣(61)的另一部分伸出所述外壳(65)外；

其中，通过沿靠近或远离所述第一架体(1)的方向按动或松开所述第二架体(2)来控制所述锁扣(61)位于所述外壳(65)内的长度来控制所述锁扣(61)与所述卡槽(5)之间的距离，以使与所述锁扣(61)与所述卡槽(5)卡接或分离。

4.根据权利要求3所述的保护膜组件，其特征在于，所述锁扣组件(6)还包括：

运动块(62)，沿靠近或远离所述外壳(65)的底部的方向可运动地设置于所述外壳(65)内，所述锁扣(61)设置在所述运动块(62)上且相对于所述运动块(62)可运动地设置；

弹性件(63)，设置于所述外壳(65)内且位于所述运动块(62)和所述外壳(65)的底部之间；

连接杆(64)，设置于所述外壳(65)内，所述连接杆(64)的第一端与所述运动块(62)铰接，所述连接杆(64)的第二端可活动地设置于所述外壳(65)内壁上的导向槽(650)内；

其中，所述连接杆(64)的第二端在所述运动块(62)受到的外部按压力与所述弹性件(63)的弹性力的共同作用下在所述导向槽(650)内往复运动，以调节所述锁扣(61)位于所述外壳(65)内的长度。

5.根据权利要求4所述的保护膜组件，其特征在于，

所述卡槽(5)和所述锁扣(61)均为两个，两个所述卡槽(5)分别位于所述插头(3)的相对两侧，两个所述锁扣(61)与两个所述卡槽(5)一一对应地设置；和/或

所述锁扣(61)包括连接部和锁勾，所述锁勾通过所述连接部与所述运动块(62)连接，所述锁勾朝向所述连接部靠近相应的所述卡槽(5)的一侧凸出，以用于与所述卡槽(5)卡接或分离。

6.根据权利要求4所述的保护膜组件，其特征在于，所述导向槽(650)包括相连接的第一槽段(651)和第二槽段(652)；其中，所述第一槽段(651)和所述第二槽段(652)之间呈预定夹角设置，所述预定夹角大于0度且小于180度；沿远离所述外壳(65)的底部的方向，所述第一槽段(651)和所述第二槽段(652)之间的距离逐渐增大；所述第一槽段(651)的小度大于所述第二槽段(652)的长度。

7.根据权利要求2所述的保护膜组件，其特征在于，

所述第一架体(1)包括沿第一方向间隔布置的两个第一边框(11)和沿第二方向间隔布置的两个第二边框(12)，以共同围成支撑空间；所述插头(3)或所述凹槽(4)设置在所述第一边框(11)上；其中，

所述第一边框(11)在第一方向上的宽度大于所述第二边框(12)在第二方向上的宽度；

所述第一边框(11)在第二方向上的长度大于所述第二边框(12)在第一方向上的长度。