[发明专利]温控设备及温控方法

说明书

本发明涉及温度调控技术领域，本发明提供一种温控设备及温控方法。其中，温控设备包括：水箱、第一阀体和第一泵体，所述第一阀体设置有入口、第一出口和第二出口，所述水箱、第一阀体的入口和第一阀体的第一出口适于连通形成第一循环系统，所述第一泵体与负载装置适于连通形成第二循环系统，所述入口、所述第二出口和所述第二循环系统适于连通。本发明提供的温控设备，通过设置具有第一出口和第二出口的第一阀体，通过第二出口为第二循环系统调控流体温度，无需使水箱中的流体温度达到第二循环系统的温度，降低了对水箱及相关部件的耐高温能力要求，可延长水箱及相关部件的使用寿命。

技术领域

本发明涉及温度调控技术领域，尤其涉及一种温控设备及温控方法。

背景技术

在集成电路制造行业，需要用到控制温度25℃以上的高温型温控设备，对需要维持一定高温的部位进行温度控制或者需要高温液体及低温液体进行温度混合。目前的高温要求基本在20～100℃范围内，一些工艺制程需要用到100℃以上的高温，采用目前的温控设备会带来整个循环系统高温烫伤的风险并且对高温器件的要求高，需要付出较大的代价来满足。

相关技术中，采用单循环系统，单循环系统中，水箱、换热器、加热器和负载串联；或，采用双循环系统，双循环系统中，水箱与换热器串联，水箱、加热器和负载串联，以形成两个循环回路。在集成电路专用温控设备中由于需要液体回收功能，水箱体积一般较大，因此带来整个设备内部的高温烫伤风险，且对内部电器件及电箱温度都存在负面影响，对设备的寿命影响较大。基于前述，在高温区间使用时水箱内液体都是高温液体，单循环系统和双循环系统均存在水箱温度较高、液位传感器及保温材料耐高温性能不佳等问题。

发明内容

本发明提供一种温控设备及温控方法，用以解决现有技术中水箱及相关部件耐高温性能差的缺陷，通过设置具有第一出口和第二出口的第一阀体，通过第二出口为第二循环系统调控流体温度，无需使水箱中的流体温度达到第二循环系统的温度，降低了对水箱及相关部件的耐高温能力要求，可延长水箱及相关部件的使用寿命。

本发明第一方面实施例提供一种温控设备，包括：水箱、第一阀体和第一泵体，所述第一阀体设置有入口、第一出口和第二出口，所述水箱、第一阀体的入口和第一阀体的第一出口适于连通形成第一循环系统，所述第一泵体与负载装置连通形成第二循环系统，所述入口、所述第二出口和所述第二循环系统适于连通。

根据本发明提供的一种温控设备，所述第一泵体与所述负载装置的出口端之间设置有第一调节阀。

根据本发明提供的一种温控设备，所述第一调节阀关闭，所述水箱、所述入口、所述第二出口、所述第一泵体、所述负载装置连通形成第三循环系统。

根据本发明提供的一种温控设备，所述第三循环系统包括第二调节阀，所述第二调节阀位于所述水箱与所述负载装置的出口端之间。

根据本发明提供的一种温控设备，所述第一循环系统包括换热器，所述换热器的放热管路位于所述水箱与所述入口之间。

根据本发明提供的一种温控设备，所述第二循环系统包括加热器，所述加热器位于所述负载装置的进口端与所述第二出口之间。

根据本发明提供的一种温控设备，所述第一阀体的入口端设置有第三温度传感器，所述加热器的进口端设置有第四温度传感器，所述加热器的出口端设置有第一温度传感器。

本发明第二方面实施例的温控方法，应用于如上所述的温控设备，包括：

获取所述负载装置的进口端的目标温度和实际温度；

确定所述目标温度小于所述实际温度，所述第一阀体的入口、第二出口和所述第二循环系统连通。

根据本发明提供的一种温控方法，所述第一阀体的入口、第二出口和所述第二循环系统连通的步骤中，