[发明专利]一种提高非晶WO3 有效
| 申请号: | 202210094992.3 | 申请日: | 2022-01-26 |
| 公开(公告)号: | CN114574805B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 苏江滨;祁昊;朱秀梅;何祖明;蒋美萍 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;G02F1/1524 |
| 代理公司: | 南京禹为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32272 | 代理人: | 王晓东 |
| 地址: | 213100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 提高 wo base sub | ||
本发明公开了一种提高非晶WOsubgt;3/subgt;薄膜电致变色效率的方法。用射频磁控溅射法在ITO玻璃衬底上制备了非晶WOsubgt;3/subgt;薄膜,然后在含量为99.7%的无水乙醇中充分浸泡后取出烘干,其在676.2nm波长处的光学调制最高可以提高35%~44%,电致变色效率大幅度提高。本发明利用射频磁控溅射法进行非晶WOsubgt;3/subgt;薄膜的沉积,它具有膜层均匀、膜基附着性好、易于大面积制备、重复性高和无需反应气体氧气等特点,而且乙醇浸泡处理方法简单、高效,制备成本低廉。
技术领域
本发明属于电致变色薄膜材料技术领域,具体涉及一种提高非晶WO3薄膜电致变色效率的方法。
背景技术
电致变色是指在一定外加电场作用下,材料的反射率、透过率等光学属性发生稳定可逆的变化,宏观上表现为颜色和透明度的可逆变化。1969年,Deb首次使用无定形的WO3薄膜制备了电致变色器件,并且提出了色心模型,标志着电致变色科学与技术研究的开端。随着国内外学者研究的深入,电致变色材料的独特优势带动着它朝着实用化、产业化的方向快速发展。欧美一些发达国家已将电致变色材料的研究成果应用于建筑、交通、航天等领域。而今,作为电致变色材料的一个重要组成部分,电致变色薄膜具有良好的物理化学性质,其颜色变化的定义已不再局限于可见光范围,而是对于近红外、远红外等电磁区域的一种响应。在调光玻璃方面,可以通过电致变色薄膜的性能来调节透射率、反射率、吸收率等光学性能,由此制成的电致变色玻璃或器件可以广泛应用于建筑、航天、交通等各方面,对于节能环保都具有重要意义。
WO3是一种重要的电致变色材料。在实际应用中,无定形或非晶WO3薄膜由于其疏松的结构具有比晶态WO3薄膜更好的变色效率,因而得到了广泛的研究与应用。通常,评价一种材料电致变色性能好坏的主要指标有变色效率、变色响应时间、着色贮存时间、循环寿命等。其中,变色效率是电致变色材料的最重要指标,它可以用可见光波段某一波长处最大的着色态和褪色态的透过率之差即光学调制(OM,optical modulation)来进行描述。材料的变色效率或光学调制除了与其微观结构有关,还跟材料的制备方法、实验条件等因素密切相关。在现有文献中,WO3薄膜的制备方法有磁控溅射法、离子束溅射法、电子束蒸发法、水热法以及电沉积法等。其中,磁控溅射法因具有膜层均匀、膜基附着性好、易于大面积制备、重复性高等优点,是目前WO3薄膜的主流制备方法。然而在现有文献中,利用磁控溅射法制备的WO3薄膜的光学调制通常在75%以下,普遍偏低。因此,寻找一种行之有效的方法来进一步提高磁控溅射非晶WO3薄膜的光学调制或变色效率是非常有必要的。
发明内容
本部分的目的在于概述本发明的实施例的一些方面以及简要介绍一些较佳实施例。在本部分以及本申请的说明书摘要和发明名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和发明名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本发明的范围。
鉴于上述及现有技术中存在的问题,提出了本发明。
因此,本发明的目的在于提供一种提高非晶WO3薄膜电致变色效率的新方法。
为解决上述技术问题,根据本发明的一个方面,本发明提供了如下技术方案:一种提高非晶WO3薄膜电致变色效率的方法,包括,
将非晶WO3薄膜在无水乙醇中充分浸泡,取出,烘干,以提高非晶WO3薄膜产品的变色效率和光学调制。
作为本发明所述提高非晶WO3薄膜电致变色效率的方法的一种优选方案,其中:所述非晶WO3薄膜由磁控溅射法制备。
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