[发明专利]一种提高非晶WO3

权利要求书

1.一种提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法，其特征在于：包括，

将非晶WO₃薄膜在无水乙醇中充分浸泡，取出，烘干，以提高非晶WO₃薄膜产品的变色效率和光学调制；

所述浸泡的时间为24~48 h。

2.如权利要求1所述提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法，其特征在于：所述非晶WO₃薄膜由磁控溅射法制备。

3.如权利要求2所述提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法，其特征在于：所述磁控溅射法还包括，

选用尺寸φ3 inch×5 mm、纯度99.999%的高纯W靶为靶材，尺寸25×40×0.7 mm的ITO导电玻璃为衬底；

先抽腔室真空至5.0×10^-3 Pa，然后通入流量为20 sccm、纯度为99.999%的氩气，并调节高阀使腔室气压维持在0.3~1.0 Pa，最后打开射频电源并调节功率至80~120 W，在沉积温度为25℃~550℃、衬底偏压为-100~+100 V条件下溅射沉积1.5~2 h，得到非晶WO₃薄膜。

4.如权利要求3所述提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法，其特征在于：所述ITO玻璃衬底的电阻为3.5 Ω/□，表面形貌为三角片团簇构成的绒面化结构。

5.如权利要求1所述提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法，其特征在于：所述WO₃薄膜为非晶态结构，厚度为80~120 nm。

6.如权利要求1所述提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法，其特征在于：所述无水乙醇为分析纯，含量≥99.7%。

7.如权利要求1~6任一所述提高非晶WO₃薄膜电致变色效率的方法所制备得到的非晶WO₃薄膜产品，其特征在于：所述非晶WO₃薄膜产品的光学调制是在676.2 nm波长处着色态和褪色态的透过率之差，可提高35%~44%，变色效率大幅提升。