[发明专利]一种通过派瑞林气相沉积提高变压器绝缘耐压的方法在审
申请号: | 202210087357.2 | 申请日: | 2022-01-25 |
公开(公告)号: | CN114420427A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 汤姝莉;赵国良;邵领会;冯春苗;薛亚慧 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01F27/34 | 分类号: | H01F27/34;H01F27/32;H01F27/02;H01F41/00;H01F41/12 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 房鑫 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 通过 派瑞林气相 沉积 提高 变压器 绝缘 耐压 方法 | ||
本发明提供一种通过派瑞林气相沉积提高变压器绝缘耐压的方法,当采用磁罐与骨架结构的变压器时,通过将第一漆包线绕制在骨架上得到绕组,对预处理后的绕组表面进行气相沉积派瑞林制备得到具有派瑞林膜层的绕组,对气相沉积后的具有派瑞林膜层的绕组与磁罐进行组装得到变压器,对完成组装后的变压器进行二次气相沉积派瑞林膜层;当采用磁芯结构的变压器时,通过将预处理后的磁芯表面进行气相沉积派瑞林制备得到具有派瑞林膜层的磁芯,对气相沉积后的具有派瑞林膜层的磁芯进行变压器的绕制,对完成绕制后的变压器进行二次气相沉积派瑞林膜层。有效解决了混合集成电路时变压器初、次级之间击穿及变压器与管壳间放电等导致电路失效的问题。
技术领域
本发明属于混合集成技术领域,涉及一种通过派瑞林气相沉积提高变压器绝缘耐压的方法。
背景技术
电子变压器广泛应用于隔离放大器、电源模块、功率驱动等多种类型的混合集成电路中,电子变压器的绝缘强度、介质耐压等性能参数是决定其应用及电路性能的重要指标之一。尤其是对于工作电压较高及具有隔离功能变压器的混合集成电路,在测试及使用过程中,变压器初、次级之间电压击穿、变压器与电路管壳间放电等导致电路失效的问题时有发生。除漆包线损伤等自身缺陷外,最容易被击穿的薄弱部位通常为漆包线与磁体、漆包线与金属管壳等间距较小且存在较高电压差之处。
为了提高变压器的绝缘性,通常针对变压器所使用的漆包线进行工艺更改,即更换为绝缘阻抗更高的漆皮材料或增加线径及漆皮厚度,但上述方法对变压器绝缘性的提高程度仍旧有限,还可能带来漆皮材料兼容性或线圈体积增大等问题,不利于电子器件的小型化、高集成化。
派瑞林(Parylene,也称派拉伦、巴利宁)是一系列聚对二甲苯聚合材料的统称,派瑞林膜层的制备过程为将派瑞林高分子材料在真空下分解成活性小分子,然后沉积在基材表面形成聚合物薄膜涂层,属于一种真空气相沉积技术。利用真空气相沉积工艺形成的派瑞林薄膜厚度均匀可控、透明致密、无针孔、无应力,且具有优异的绝缘强度、抗酸碱性及隔离能力。派瑞林气相沉积工艺在电子领域通常应用于电路外部整体表面处理,目的通常在于外部防护、水汽隔绝、表面耐磨等,但是在提高变压器绝缘耐压方面未查询到相关应用。
发明内容
针对现有技术中存在的问题,本发明提供一种通过派瑞林气相沉积提高变压器绝缘耐压的方法,解决了混合集成电路时变压器初、次级之间击穿及变压器与管壳间放电等导致电路失效的问题。
本发明是通过以下技术方案来实现:
一种通过派瑞林气相沉积提高变压器绝缘耐压的方法,所述变压器包括磁罐与骨架结构的变压器或磁芯结构的变压器,包括,
当采用磁罐与骨架结构的变压器时,通过将第一漆包线绕制在骨架上得到绕组,对预处理后的绕组表面进行气相沉积派瑞林制备得到具有派瑞林膜层的绕组,对气相沉积后的具有派瑞林膜层的绕组与磁罐进行组装得到变压器,对完成组装后的变压器进行二次气相沉积派瑞林膜层;
或,
当采用磁芯结构的变压器时,通过将预处理后的磁芯表面进行气相沉积派瑞林制备得到具有派瑞林膜层的磁芯,对气相沉积后的具有派瑞林膜层的磁芯进行变压器的绕制,对完成绕制后的变压器进行二次气相沉积派瑞林膜层。
优选的,派瑞林采用C型派瑞林或F型派瑞林。
优选的,对完成组装后的变压器或对完成绕制后的变压器均进行二次预处理后再进行二次气相沉积派瑞林膜层。
优选的,预处理采用等离子清洗技术,通过Ar等离子体对绕组或磁芯进行轰击;所述二次预处理采用等离子清洗技术,通过Ar等离子体对完成组装后的变压器或对完成绕制后的变压器进行轰击。
优选的,对气相沉积后的具有派瑞林膜层的绕组与磁罐进行组装得到变压器,具体方法为:将磁罐按照方位扣设在绕组的骨架上,将第一漆包线从磁罐的开口处引出。
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