[发明专利]共通金属掩膜版手动张网机

说明书

本发明公开了一种共通金属掩膜版手动张网机，包括机架部分、金属框上料部分、拉力控制部分以及镭射焊接部分；金属框上料部分、拉力控制部分以及镭射焊接部分均安装在机架部分上；拉力控制部分包括基座和固定在基座上的多个气缸夹持头单元，气缸夹持头单元包括气缸、夹头、底板及与底板相连接的手动预设力机构；气缸夹持头单元通过气缸推动带动夹头旋转，致使夹头和底板紧密贴合，从而使夹头和底板夹持住共通金属掩膜版；当基座整体移动时，各个气缸夹持头单元通过对应的手动预设力机构实现不同力的控制。该手动张网机的结构设计合理，实现相同功能和精度的同时，能够大幅降低共同金属掩膜版张网机台的制造成本。

技术领域

本发明涉及共通金属掩膜版张网机的技术领域，尤其是一种共通金属掩膜版手动张网机。

背景技术

AMOLED（主动式有机发光显示器）正逐渐替代LCD（液晶显示器），成为显示器主流，目前已在穿戴、手机、平板以及笔记本等产品中广泛使用。在AMOLED行业中，生产AMOLED时需要使用到CMM（共通金属掩膜版），虽然CMM逐渐有国产化产品出现，但是CMM对应的生产设备（如：张网机台）绝大部分为国外产品。

CMM的张网机台，业内称之为共通金属掩膜版张网机或者共通屏蔽金属张网机，其张网精度要求≤50um，自动化程度高，对应的张网机台售价极其昂贵，一般一台张网机台普遍需要近千万人民币的售价。

见图1、图2和图3，现有共通金属掩膜版张网机台包括传送端口a（金属框进入端）、机台中心光标柱b、金属框升降承接柱c、夹爪d、承载镜头的龙门e、金属框载台f、共通金属掩膜版上料台g、真空吸h以及共通金属掩膜版承载台i。

共通金属掩膜版张网机台需要将共通金属掩膜版拉到设计精度，同时通过镭射焊接头，使用镭射非接触式焊接将共通金属掩膜版和金属框这两个部件熔融焊接起来。

见图4，将共通金属掩膜版拉到设计位置的详细介绍如下：由于共通金属掩膜版，在受张力情况下，存在变形，若需要将图示右上开口中心位置拉到（X0，Y0）位置，则需要在共通金属掩膜版制作时候，加入反向补偿，例如X方向加入补偿99.980%，Y方向加入补偿99.985%，即开口中心位置补充后竖直为（X0*99.980%，Y0*99.985%），那对应每个开口中心位置和图示开口中心位置都存在一定偏差，这时候，需要使用共通金属掩膜版张网机，将每个开口中心位置，拉至理论位置附近，比如右上开口实际坐标为（X1，Y1），通过张网机，位置坐标将回到（X0，Y0）附近，其差值便是对应精度值，该精度值需要控制在≤50um，即需要将坐标从（X1，Y1）往（X0，Y0）位置拉，但是不可能正好拉到（X0，Y0），假使拉完位置为（X2，Y2），那么对应的|X0-X2|≤50um，|Y0-Y2|≤50um。

共通金属掩膜版张网机的张网流程具体如下所示：

第1步骤、机台处于初始状态；

第2步骤、金属框升降承接柱c的X、Y、Z移动到承接位置并升起；

第3步骤、传送端口a的门打开；

第4步骤、机械手臂将金属框摆至金属框升降承接柱c处后，机械手臂撤走；

第5步骤、金属框升降承接柱c承接住金属框，XYZ动作回到原位；

第6步骤、金属框升降承接柱c移动至金属框载台f的上方；

第7步骤、金属框载台f处的支撑柱升起承接金属框；

第8步骤、金属框升降承接柱c的XY移动至等待位置；

第9步骤、金属框升降承接柱c下降将金属框放在金属框载台f上；

第10步骤、金属框载台f整体下降至安全位置；

第11步骤、金属框载台f有吹起孔，气浮吹起金属框并通过中心调整块进行中心调整；