[发明专利]光学系统、曝光装置以及物品制造方法

权利要求书

1.一种光学系统，包括第1光学元件和第2光学元件，其特征在于，

该光学系统具备：

多个第1支承部，支承所述第1光学元件；

多个第2支承部，支承所述第2光学元件；

多个第1线性调整机构，分别调整所述多个第1支承部的位置；以及

多个第2线性调整机构，分别调整所述多个第2支承部的位置，

通过由所述多个第1线性调整机构对所述多个第1支承部的位置进行的调整，所述第1光学元件至少关于第1轴被进行调整，

通过由所述多个第2线性调整机构对所述多个第2支承部的位置进行的调整，所述第2光学元件至少关于与所述第1轴不同的第2轴被进行调整。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

所述多个第1线性调整机构被配置成：将所述多个第1线性调整机构中的一个第1线性调整机构分配给所述多个第1支承部中的一个第1支承部，

所述多个第2线性调整机构被配置成：将所述多个第2线性调整机构中的一个第2线性调整机构分配给所述多个第2支承部中的一个第2支承部。

3.根据权利要求2所述的光学系统，其特征在于，

所述多个第1支承部各自的位置不被除对该第1支承部分配的第1线性调整机构之外的机构调整，

所述多个第2支承部各自的位置不被除对该第2支承部分配的第2线性调整机构之外的机构调整。

4.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

所述多个第1线性调整机构调整所述多个第1支承部的位置的方向与第1方向平行，

所述多个第2线性调整机构调整所述多个第2支承部的位置的方向与不同于所述第1方向的第2方向平行。

5.根据权利要求4所述的光学系统，其特征在于，

通过由所述多个第1线性调整机构对所述多个第1支承部的位置进行的调整，所述第1光学元件关于包括所述第1轴的3个轴被进行调整，

通过由所述多个第2线性调整机构对所述多个第2支承部的位置进行的调整，所述第2光学元件关于包括所述第2轴的3个轴被进行调整。

6.根据权利要求5所述的光学系统，其特征在于，

通过由所述多个第2线性调整机构对所述多个第2支承部的位置进行的调整而能够调整所述第2光学元件的所述3个轴与通过由所述多个第1线性调整机构对所述多个第1支承部的位置进行的调整而能够调整所述第1光学元件的所述3个轴全部不同。

7.根据权利要求6所述的光学系统，其特征在于，

所述第1轴和所述第2轴相互正交，

通过由所述多个第1线性调整机构对所述多个第1支承部的位置进行的调整而能够调整所述第1光学元件的所述3个轴是所述第1轴、绕所述第2轴的旋转、绕与所述第1轴和所述第2轴正交的第3轴的旋转，

通过由所述多个第2线性调整机构对所述多个第2支承部的位置进行的调整而能够调整所述第2光学元件的所述3个轴是所述第2轴、所述第3轴、绕所述第1轴的旋转。

8.根据权利要求1所述的光学系统，其特征在于，

所述第1光学元件的外形具有从由第1圆弧和第1弦规定的图形切去所述第1弦的一端侧的第1部分和所述第1弦的另一端侧的第2部分而得到的形状，

所述第1光学元件包括配置于所述第1部分且由所述多个第1支承部中的一个第1支承部支承的第1被支承部和配置于所述第2部分且由所述多个第1支承部中的另一个第1支承部支承的第2被支承部，

所述第1光学元件以使所述第1弦成为下侧、使所述第1圆弧成为上侧的方式被所述多个第1支承部支承。

9.根据权利要求8所述的光学系统，其特征在于，

所述第1被支承部在所述第1光学元件被所述多个第1支承部支承的状态下具有水平的被支承面，

所述第2被支承部在所述第1光学元件被所述多个第1支承部支承的状态下具有水平的被支承面。