[发明专利]一种用于钝化保护半导体材料的玻璃粉及其制备方法在审
申请号: | 202210073564.2 | 申请日: | 2022-01-21 |
公开(公告)号: | CN114573236A | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 孙松;李萌萌;郭立升;曹孙根;蔡梦蝶;程芹;魏宇学;柏家奇 | 申请(专利权)人: | 安徽大学 |
主分类号: | C03C12/00 | 分类号: | C03C12/00;C03B19/00 |
代理公司: | 合肥中悟知识产权代理事务所(普通合伙) 34191 | 代理人: | 张婉 |
地址: | 230000 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 钝化 保护 半导体材料 玻璃粉 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于钝化保护半导体材料的玻璃粉,其特征在于,其组成包括以下组分:Bi2O3、B2O3、P2O5、CaO、RxOy,RxOy为TiO2、La2O3、Al2O3中的一种或以上;其中,Bi2O3、B2O3、P2O5、CaO、RxOy的摩尔百分比为:Bi2O3 45~50%、B2O3 38~42%、P2O5 8~12%、CaO 2~3%、RxOy 1~2%。
2.一种如权利要求1所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)按摩尔比称取原料磷酸氢二铵、硼酸、氧化铋、碳酸钙、RxOy混合均匀,于研钵中研磨5~30min;
2)将1)中的混合物转移至石英舟放于马弗炉中,以3℃/min的速率升至480~520℃保温2h;
3)将2)中的混合物再以5℃/min的速率升至850~900℃保温2~3h;
4)将3)中的混合物于马弗炉中280~300℃下退火12h;
5)将玻璃研磨,即得玻璃粉。
3.根据权利要求2所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,步骤1)中,于研钵中研磨5~30min。
4.根据权利要求2所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,步骤2)中,升温至480~520℃。
5.根据权利要求2所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,步骤3)中,升温至850~900℃。
6.根据权利要求2所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,步骤4)中,升温至280~300℃。
7.根据权利要求2所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,所述Bi2O3、B2O3、P2O5、CaO、RxOy的摩尔百分比为:Bi2O3 45~50%、B2O3 38~42%、P2O5 8~12%、CaO 2~3%、RxOy 1~2%。
8.根据权利要求2所述的用于钝化保护半导体材料的玻璃粉的制备方法,其特征在于,所述RxOy为TiO2、La2O3、Al2O3中的一种或以上。
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