[发明专利]检查系统、检查方法及检查程序

说明书

提供一种检查系统、检查方法及检查程序，其用于降低检查员在检查系统中的工作负担。该检查系统包括：图像再现部，以从第一遮盖图像再现遮盖前的第一图像的方式被进行了训练，所述第一遮盖图像通过将拍摄检查对象物而得到的图像之中的、判断为未包含缺陷的第一图像的一部分遮盖而生成；以及判定部，基于通过将第二遮盖图像输入至所述图像再现部而再现的再现图像、以及第二图像，对在所述第二图像中是否包含缺陷进行判定，所述第二遮盖图像通过将拍摄新的检查对象物而得到的所述第二图像的一部分遮盖而生成。

技术领域

本发明涉及一种检查系统、检查方法及检查程序。

背景技术

传统上，已知一种检查系统，其通过对印刷基板等检查对象物进行摄影，并将其与基准图像进行比较，从而对检查对象物是合格产品还是不合格产品进行检查。

在该检查系统中，例如，通过以不将不合格产品作为合格产品的方式，先过度地检测出缺陷候选，并最终由检查员对检测出的缺陷候选的图像进行目视检查，从而实现防止缺陷的漏检。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-098267号公报

专利文献2：日本特开2020-052474号公报

发明内容

本发明要解决的问题

然而，在上述检查系统的情况下，由于在合格产品的范围内的制造偏差等也会被检测为缺陷候选，因此存在要由检查员进行目视检查的缺陷候选的图像较多，检查员的工作负担较高的问题。

根据一个方面，本发明的目的在于降低检查员在检查系统中的工作负担。

用于解决问题的手段

根据一个实施方式，提供一种检查系统，包括：图像再现部，以从第一遮盖图像再现遮盖前的第一图像的方式被进行了训练，所述第一遮盖图像通过将拍摄检查对象物而得到的图像之中的、判断为未包含缺陷的第一图像的一部分遮盖而生成；以及判定部，基于通过将第二遮盖图像输入至所述图像再现部而再现的再现图像、以及第二图像，对在所述第二图像中是否包含缺陷进行判定，所述第二遮盖图像通过将拍摄新的检查对象物而得到的所述第二图像的一部分遮盖而生成。

发明的效果

能够降低检查员在检查系统中的工作负担。

附图说明

图1是示出训练阶段中的检查系统的系统构成的一个示例的图。

图2是示出训练装置的硬件构成的一个示例的图。

图3是示出由训练装置的训练用数据集生成部进行的处理的具体示例的图。

图4是示出由训练装置的训练部进行的处理的具体示例的第1图。

图5是示出检查阶段中的检查系统的系统构成的一个示例的图。

图6是示出推断装置的硬件构成的一个示例的图。

图7是示出由推断装置的推断部进行的处理的具体示例的第1图。

图8是示出检查系统中的训练处理的流程的第1流程图。

图9是示出检查系统中的检查处理的流程的第1流程图。

图10是示出由训练装置的训练部进行的处理的具体示例的第2图。

图11是示出由推断装置的推断部进行的处理的具体示例的第2图。

图12是示出检查系统中的训练处理的流程的第2流程图。

图13是示出检查系统中的检查处理的流程的第2流程图。