[发明专利]一种真空密封旋转升降系统及半导体设备

权利要求书

1.一种真空密封旋转升降系统，其特征在于，包括磁流体密封组件、运动轴、伸缩组件及第一密封圈；

所述磁流体密封组件用于与真空箱固定连接；

所述运动轴的一端用于伸入所述真空箱内，另一端可活动地与所述磁流体密封组件连接并用于伸出所述真空箱外；

所述伸缩组件套设于所述运动轴位于所述真空箱内的部分上，所述伸缩组件的一端与所述运动轴固定连接，另一端与所述磁流体密封组件固定连接，所述伸缩组件用于在运动轴相对所述磁流体密封组件伸缩的情况下跟随所述运动轴进行伸缩运动；

所述第一密封圈设置于所述伸缩组件和所述运动轴之间。

2.根据权利要求1所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述伸缩组件包括依次密封连接的第一连接管、伸缩管和第二连接管，所述第一连接管与所述运动轴固定连接，所述第二连接管与所述磁流体密封组件固定连接，其中，所述第一密封圈设置于所述第一连接管和所述运动轴之间。

3.根据权利要求2所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述运动轴与所述第一连接管的连接处设置有第一凹槽，所述第一凹槽用于容置并露出第一密封圈。

4.根据权利要求3所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述真空密封旋转升降系统还包括卡持组件，所述卡持组件可拆卸地安装在所述运动轴和所述第一连接管之间，且所述卡持组件位于所述第一凹槽远离所述伸缩管的一侧，所述卡持组件用于将所述第一连接管固定于所述运动轴。

5.根据权利要求4所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述卡持组件包括卡持件和弹性挡圈，所述第一连接管设置有安装腔，在所述安装腔内的所述运动轴的外壁设置有第一卡槽，所述安装腔对应所述运动轴的侧壁设置有第二卡槽；

所述卡持件伸入所述安装腔并嵌入所述第一卡槽，所述弹性挡圈伸入所述安装腔并嵌入所述第二卡槽，所述弹性挡圈与所述卡持件轴向抵接；

所述第一凹槽、所述第一卡槽和所述第二卡槽沿所述运动轴朝向所述真空箱内的方向依次分布。

6.根据权利要求2所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述真空密封旋转升降系统还包括第二密封圈，所述磁流体密封组件包括固定座和转动轴，所述固定座用于与所述真空箱固定连接，所述转动轴可转动地设置于所述固定座，所述转动轴与所述固定座之间填充有磁流体；

所述转动轴套设于所述运动轴外并与所述第二连接管固定连接，其中，所述第二密封圈设置于所述第二连接管和所述转动轴之间。

7.根据权利要求6所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述转动轴与所述第二连接管的连接处设置有第二凹槽，所述第二凹槽用于容置并露出第二密封圈。

8.根据权利要求6所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述磁流体密封组件还包括导向销，所述运动轴开设有导向槽，所述导向销的一端与所述转动轴固定连接，另一端伸入所述导向槽内，用于为所述运动轴进行导向。

9.根据权利要求2所述的真空密封旋转升降系统，其特征在于，所述伸缩组件还包括保护套，所述保护套设置于所述伸缩管内，并套设于所述运动轴外，所述保护套与所述第二连接管连接。

10.一种半导体设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的真空密封旋转升降系统。