[发明专利]一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法

权利要求书

1.一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，包括：

获取无输入条件下能量测量探头的输出信号随时间变化曲线，当输出电压波形起伏小于第一阈值后启动能量测量及校准系统进行校准测量；

获取并记录能量测量及校准系统输出的所有波形，基于获取的所有波形计算并表征加载电能或激光的能量；

获取光测量过程输出信号达到峰值的时长T1，令电校准过程输出信号达到峰值的时长T2＝T1，对输出信号进行校准处理。

2.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，所述能量测量及校准系统中能量测量探头采用镍镉合金制成薄金属膜电阻，所述薄金属膜电阻上设置有齿状回路导线，所述齿状回路导线的首尾两端同侧引出。

3.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，所述薄金属膜电阻与传感器分体式设置，通过导热胶相对贴合。

4.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，所述能量测量及校准系统中能量测量探头采用专用吸收体ZAB00+，光学透过率水平为OD6。

5.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，所述能量测量及校准系统中能量测量探头的传感器采用锑化铋半导体热电堆与陶瓷聚合传感器。

6.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，所述能量测量及校准系统中AD转换模块在转换过程中采用高稳定参考电压及24位转换AD，采样率不低于1k。

7.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，获取能量测量探头前表面的空气对流系数，在空气对流系数小于5W/m²时启动能量测量及校准系统进行校准测量。

8.根据权利要求7所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，当空气对流系数大于5W/m²时，在探头前表面增加一个透射系数已知的窗口。

9.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，所述能量测量及校准系统的测量及校准过程均维持在温度25℃±5℃、湿度小于70％的环境下进行。

10.根据权利要求1所述的一种热电堆型激光能量测量及校准系统用校准方法，其特征在于，测量前通过不小于待测光斑尺寸的测试光对能量测量探头进行1-3次测试。