[发明专利]空气传播污染物管理的方法

权利要求书

1.一种空气传播污染物管理的方法，包括：

通过对清洁室的环境进行采样来产生污染物分布图；

通过将所述污染物分布图与第一数据库中的至少一个扩散图像进行比较来选择所述清洁室的第一制作工具；

将所述第一制作工具的参数与第二数据库中的工艺效用信息进行比较；以及

当所述参数与所述工艺效用信息一致时，采取以下措施中的至少一项措施：

将清洁工具移动到与所述污染物分布图的污染物浓度相关联的位置；

接通所述清洁工具的风扇；

停止向所述第一制作工具的舱式运送；以及

终止通过所述第一制作工具进行的生成。

2.根据权利要求1所述的方法，其中选择所述第一制作工具包括：

选择所述至少一个扩散图像中的第一扩散图像；以及

当所述第一制作工具的置信水平是与所述第一扩散图像相关联的所有制作工具的最高置信水平时，选择所述第一制作工具。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

当所述污染物分布图的峰值浓度水平高于第一阈值时，实行将所述清洁工具移动到所述位置；以及

当所述峰值浓度水平高于第二阈值时，实行接通所述风扇，所述第二阈值高于所述第一阈值。

4.根据权利要求3所述的方法，其中：

当所述峰值浓度水平高于第三阈值时，实行停止所述舱式运送且终止所述生成，所述第三阈值高于所述第二阈值。

5.一种空气传播污染物管理的方法，包括：

通过利用采样系统对清洁室污染物进行采样来产生清洁室污染物数据；

通过飞行时间质谱仪基于所述清洁室污染物数据产生第一图像；

基于使用所述第一图像及至少一个其他清洁室扩散图像进行的预测来选择第一制作工具；以及

通过由自动导引车辆控制器分派的自动导引车辆来降低所述第一制作工具附近的污染物浓度。

6.根据权利要求5所述的方法，其中对所述清洁室污染物进行采样包括对氯氟烃、氢氟烃、全氟烃、异丙醇、丙酮及总挥发性有机化合物中的至少一者进行采样。

7.根据权利要求5所述的方法，其中对所述清洁室污染物进行采样包括通过所述采样系统进行采样，所述采样系统包括面密度介于1每平方米到50每平方米的范围内的采样单元。

8.一种空气传播污染物管理的方法，包括：

将晶片定位在制作工具中；

检测污染物的高于第一阈值的峰值浓度水平；

预计所述制作工具是所述污染物的来源；

停止向所述制作工具输送另外的晶片；

通过所述制作工具完成对所述晶片的处理；

从所述制作工具移除所述晶片；

通过修复所述制作工具来降低所述峰值浓度水平；以及

当所述制作工具被修复且所述峰值浓度水平低于基线阈值时，恢复向所述制作工具输送所述另外的晶片，所述基线阈值低于所述第一阈值。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括当所述峰值浓度水平超过所述第一阈值与所述基线阈值之间的第二阈值时，向所述制作工具分派清洁工具。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括当所述峰值浓度水平超过所述第二阈值与所述第一阈值之间的第三阈值时，对所述制作工具附近的空气进行过滤。