[发明专利]区熔硅棒切割方法和切割装置

说明书

本发明的实施例提出一种区熔硅棒的切割装置和切割方法。其中，本发明的实施例的区熔硅棒的切割装置包括支撑架、旋转固定机构和切割机构。所述旋转固定机构包括固定套筒组件和驱动支撑组件，所述固定套筒组件通过所述驱动支撑组件可转动地设置在所述支撑架上；所述切割机构沿第一预设方向在切割位置和空挡位置之间可移动地设置。因此，本发明实施例的区熔硅棒的切割装置具有降低切割过程中因应力集中出现炸裂的技术问题，具有提高区熔硅棒的切割时成品的合格率、降低切割成本的优点。

技术领域

本发明涉及晶棒的切割技术领域，具体涉及一种区熔硅棒切割方法和区熔硅棒的切割装置

背景技术

相关技术，晶棒切割方法主要是采用砂轮切割或金刚石线切割。在切割过程控制砂轮旋转或高速的钢线带动具有高强度与尖锐刃角的磨料对晶棒进行切割，并将晶棒进行固定，从而在切割过程中，砂轮切割或金刚石线沿晶棒的一侧进行切割，在切割过程中产生的横向推力与压紧点的纵向力会形成剪应力，导致切割过程中容易出现硅棒炸裂的问题。

发明内容

本发明是基于发明人对以下事实和问题的发现和认识做出的：

为了提高区熔硅棒的成品的合格率，相关技术提出了在采用金刚石线进行切割。然而，由于金刚石线的价格昂贵且在切割过程中产生的横向推力与压紧点的纵向力会形成剪应力，导致切割过程中容易出现硅棒炸裂的问题，降低了区熔硅棒成品的合格率。

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的实施例提出一种区熔硅棒的切割装置和切割方法。该切割方法具有提高区熔硅棒的切割时成品的合格率、降低切割成本的优点。

本发明实施例的区熔硅棒的切割装置支撑架、旋转固定机构和切割机构。

所述旋转固定机构包括固定套筒组件和驱动支撑组件，所述固定套筒组件通过所述驱动支撑组件可转动地设置在所述支撑架上；所述切割机构沿第一预设方向在切割位置和空挡位置之间可移动地设置。

本发明实施例的区熔硅棒的切割装置通过旋转固定机构将待切割的区熔硅棒进行旋转，分散了切割机构在切割过程中产生的横向推力与压紧点的纵向力会形成剪应力，从而降低了区熔硅棒在切割过程中容易出现硅棒炸裂的问题。从而提高了区熔硅棒的切割时成品的合格率(可达到98％以上)。与金刚线切割方法相比具有操作简便、成本低廉的优点。本发明实施例的切割装置在使用过程中操作简单安全可靠，降低人工劳动强度。

因此，本发明实施例的区熔硅棒的切割装置具有降低切割过程中因应力集中出现炸裂的技术问题，具有提高区熔硅棒的切割时成品的合格率、降低切割成本的优点。

在一些实施例中，所述驱动支撑组件包括驱动件和支撑转轮组，所述支撑转轮组设置在所述支撑架上且与固定套筒组件的外壁转动配合，所述支撑转轮组包括至少三个转轮，所述转轮中的每一者沿固定套筒组件的周向间隔设置，所述转轮中的至少一者与所述驱动件相连。

在一些实施例中，所述固定套筒组件包括多个固定套筒，且所述固定套筒的数量和位置与支撑转轮组在数量和位置相适配，所述多个固定套筒沿着第二预设方向间隔设置，至少一个所述固定套筒与所述驱动支撑组件之间以机械传动的方式驱使所述固定套筒旋转；

可选地，所述机械传动包括摩擦传动、链传动、齿轮传动和皮带传动中的任一种。

在一些实施例中，所述固定套筒外周壁设有轨道环槽，每一所述支撑转轮组中的转轮沿同一所述轨道环槽的周向间隔布置与所述轨道环槽的槽壁相接，以使所述转轮通过摩擦力带动所述固定套筒转动。

在一些实施例中，所述固定套筒外周壁设有第一齿轮，所述驱动件包括电机和第二齿轮，所述第二齿轮套设在所述电机的转轴上且与所述第一齿轮啮合；或者，所述第一齿轮与所述第二齿轮链条传动。