[发明专利]双向晶闸管装置在审
| 申请号: | 202180079111.4 | 申请日: | 2021-11-22 |
| 公开(公告)号: | CN116490978A | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
| 发明(设计)人: | J·伏贝基;U·维穆拉帕蒂 | 申请(专利权)人: | 日立能源瑞士股份公司 |
| 主分类号: | H01L29/08 | 分类号: | H01L29/08 |
| 代理公司: | 北京市汉坤律师事务所 11602 | 代理人: | 王其文;张涛 |
| 地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 双向 晶闸管 装置 | ||
1.一种双向晶闸管装置(1),包括:
-半导体本体(2),所述半导体本体在第一主表面(21)与第二主表面(22)之间延伸,
-第一主电极(31),所述第一主电极布置在所述第一主表面(21)上,
-第二主电极(32),所述第二主电极布置在所述第二主表面(22)上,
-第一栅电极(41),所述第一栅电极布置在所述第一主表面(21)上,
-第二栅电极(42),所述第二栅电极布置在所述第二主表面(22)上,
其中,
-所述第一主电极(31)包括彼此间隔开的多个第一段(310),其中,在到所述第一主表面(21)上的视图中,所述第一段(310)中的至少一些第一段完全被所述第一栅电极(41)包围,并且
-所述第二主电极(32)包括彼此间隔开的多个第二段(320),其中,在到所述第二主表面(22)上的视图中,所述第二段(320)中的至少一些第二段完全被所述第二栅电极(42)包围,并且
-所述多个第一段(310)中的一者经由至少一个第一发射极区域(61)充当第一晶闸管功能元件(11)的阴极,并且经由至少一个第一发射极短路区域(71)充当第二晶闸管功能元件(12)的阳极。
2.根据权利要求1所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述半导体本体(2)包括:
-第一导电类型的第一基极层(51),
-所述第一导电类型的第二基极层(52),
-布置在所述第一基极层(51)与所述第二基极层(52)之间的不同于所述第一导电类型的第二导电类型的第三基极层(53),
其中,所述第一段(310)中的每一者毗连所述第二导电类型的所述至少一个第一发射极区域(61)和所述第一导电类型的所述至少一个第一发射极短路区域(71)。
3.根据权利要求2所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述第一栅电极(41)与所述第一基极层(51)形成欧姆接触。
4.根据前述权利要求中任一项所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述第二主电极(32)的所述第二段(320)中的每一者毗连所述第二导电类型的至少一个第二发射极区域(62)和所述第一导电类型的至少一个第二发射极短路区域(72)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述第一栅电极(41)包括具有多个第一单元格(4110)的第一栅格结构(411),在到所述第一主表面(21)上的视图中,所述多个第一单元格具有多边形形状。
6.根据权利要求5所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述第一栅格结构(411)至少在区域中形成蜂窝图案。
7.根据权利要求5或6所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述第一单元格(4110)中的至少一者的一个侧部(4111)的长度(L1)在500μm与5000μm之间并且包括端值。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的双向晶闸管装置(1),
其中,所述第一单元格(4110)中的至少一者的一个侧部(4111)的宽度(W1)在100μm与2000μm之间并且包括端值。
9.根据权利要求5至8中任一项所述的双向晶闸管装置(1),
其中,至少一个第一发射极短路区域(71)的最大横向范围(E1)在50μm与1000μm之间并且包括端值。
10.根据权利要求5至9中任一项所述的双向晶闸管装置(1),
其中,多个第一发射极短路区域(71)布置在所述第一单元格(4110)中的一者内。
11.根据权利要求10所述的双向晶闸管装置(1),
其中,布置在同一个第一单元格内的至少两个第一发射极短路区域(71)在最大横向范围方面彼此不同。
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