[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法以及制造方法

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，基于被检查体的图像来检查在所述被检查体中产生的缺陷，其特征在于，

具备多个缺陷辨别器，所述缺陷辨别器基于所述图像，使用规定的机器学习模型来辨别各自不同的所述缺陷的种类，

各个缺陷辨别器所辨别的所述缺陷的种类是作为所述缺陷检查装置的辨别对象的规定数量的缺陷种类的一部分。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

多个所述缺陷辨别器分别与其他的缺陷辨别器的判定结果无关地、并行地辨别在所述被检查体中产生的缺陷的种类。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述缺陷辨别器的个数为N个，

第n缺陷辨别器判定在所述被检查体中产生的缺陷的种类是否符合第n缺陷种类，其中，n为1以上、N－1以下的整数，

在第n缺陷辨别器判定为在所述被检查体中产生的缺陷的种类不符合第n缺陷种类时，第n+1缺陷辨别器开始进行判定在所述被检查体中产生的缺陷的种类是否符合第n+1缺陷种类的处理。

4.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述n按第n缺陷种类的发生频度或风险大小的降序来决定。

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

多个所述缺陷辨别器分别判定在所述被检查体中产生的缺陷的种类是否符合规定的1种缺陷。

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

具备模型学习部，所述模型学习部针对表示包含特定种类的缺陷的图像的图像数据，决定用于使用所述机器学习模型来辨别该特定种类的缺陷的模型参数。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

所述缺陷辨别器基于表示针对所述被检查体的拍摄条件不同的多个图像的图像数据，辨别所述缺陷的种类。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

具备新种类判定部，所述新种类判定部计算表示缺陷特征的特征量的空间中的、按所述缺陷的种类预先决定的代表特征量与从所述图像提取的特征量亦即提取特征量的距离，

在计算出的距离相对于所述缺陷的种类中的任意一种都比规定的距离阈值大的情况下，将从所述图像检测到的缺陷的种类判定为新种类。

9.根据权利要求1～7中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

具备新种类判定部，当不存在成功地辨别出缺陷的种类的缺陷辨别器时，所述新种类判定部将从所述图像检测到的缺陷的种类判定为新种类。

10.根据权利要求1～9中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，

还具备制造工序管理部，所述制造工序管理部基于多个所述缺陷辨别器所辨别出的缺陷的状态，决定用于修正所述被检查体的制造条件的修正条件。

11.根据权利要求1～10中的任一项所述的缺陷检查装置，其特征在于，具备：

特征分析部，根据图像数据分析缺陷的特征量；

第二缺陷辨别器，使用表示缺陷的特征量与该缺陷的种类的关系的判定数据，根据所述特征分析部分析出的缺陷的特征量，来确定该缺陷的种类；以及

判定输入部，将在所述被检查体中产生的缺陷的种类确定为由所取得的操作输入示出的缺陷种类。

12.根据权利要求11所述的缺陷检查装置，其特征在于，

在多个所述缺陷辨别器确定在所述被检查体中产生的缺陷的种类之前，由所述第二缺陷辨别器或所述判定输入部来确定在所述被检查体中产生的缺陷。