[发明专利]用于脉冲激光束的脉冲压缩的光学器件及激光系统

权利要求书

1.一种用于脉冲激光束(6)的脉冲压缩的光学器件(1)，所述光学器件包括：

光栅器件(2)，所述光栅器件具有至少一个衍射光栅(3，4)，以及

射束扩展装置、尤其是至少一个射束扩展光学元件(7)，用于形成发散的脉冲激光束(6)，所述脉冲激光束发散地进入所述光栅器件(2)。

2.根据权利要求1所述的光学器件，所述光学器件具有至少一个偏转装置(5，11)，用于偏转穿过至少一个衍射光栅(3，4)之后的激光束(6)，其中，所述偏转装置(5)构造用于使所述激光束(6)转向回到已经被穿过的所述至少一个衍射光栅(3，4)，所述偏转装置优选地具有至少两个反射面(5a，b；11a-c)用于偏转所述激光束(6)。

3.根据权利要求2所述的光学器件，其中，所述偏转装置(5，11)构造用于在至少一个射束偏移方向(X，Y)上产生射束偏移(ΔX；ΔX，ΔY)。

4.根据权利要求3所述的光学器件，其中，所述偏转装置(11)构造用于在两个射束偏移方向(X，Y)上产生射束偏移(ΔX，ΔY)，所述偏转装置具有至少三个反射面(11a-c)用于偏转所述激光束(6)。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的光学器件，其中，所述光栅器件(2)具有第一衍射光栅和第二衍射光栅(3，4)，由所述激光束(6)相继地穿过所述第一衍射光栅和所述第二衍射光栅，其中，所述偏转装置(5)构造用于使所述激光束(6)以射束偏移(ΔX)转向回到所述第二衍射光栅(3)，所述射束偏移优选地在垂直于所述光栅器件(2)的衍射平面(YZ)定向的射束偏移方向(X)上延伸。

6.根据权利要求5所述的光学器件，其中，所述第一衍射光栅(3)和所述第二衍射光栅(4)布置成沿射束偏移方向(X)以侧向偏移(ΔH)彼此偏移，所述射束偏移方向垂直于所述光栅器件(2)的衍射平面(YZ)延伸。

7.根据权利要求5或6所述的光学器件，其中，至少一个另外的偏转装置(10；10a，10b)布置在所述第一衍射光栅(3)与所述第二衍射光栅(4)之间，所述至少一个另外的偏转装置产生所述激光束(6)沿射束偏移方向(X)的侧向偏移(+ΔH，-ΔH)，所述射束偏移方向垂直于所述光栅器件(2)的衍射平面(YZ)延伸。

8.根据权利要求6或7中任一项所述的光学器件，其中，在两个衍射光栅(3，4)之间的、在射束偏移方向(X)上的侧向偏移(ΔH)或由所述至少一个另外的偏转装置(10a，10b)产生的侧向偏移(+ΔH，-ΔH)由以下给出：

ΔH＝1/4H_G(H_A-H_E)/(H_A+H_E)，

其中，H_G表示所述第一衍射光栅(3)在射束偏移方向(X)上的延伸，H_E表示在第一次穿过所述第一衍射光栅(3)时所述激光束(6)的射束横截面(S1a)在射束偏移方向(X)上的延伸，H_A表示在第二次穿过所述第一衍射光栅(3)时已偏转的激光束(6)的射束横截面(S1b)在射束偏移方向(X)上的延伸。

9.根据权利要求7或8所述的光学器件，其中，所述至少一个另外的偏转装置(10a，10b)构造用于，除了所述侧向偏移(+ΔH，-ΔH)之外，还在射束偏移方向(X)上产生以下射束偏移(+ΔX)：所述射束偏移对应于所述偏转装置(5)在射束偏移方向(X)上的射束偏移(ΔX)的量值。