[发明专利]异物检查装置

权利要求书

1.一种异物检查装置，其中，

是检查检查对象物中的异物的有无的异物检查装置，

包括：

搬送部，其将所述检查对象物沿规定的搬送方向搬送；

X射线照射部，其对由所述搬送部搬送的所述检查对象物照射X射线；

X射线检测部，其检测透过了所述检查对象物的所述X射线，输出基于检测结果的X射线图像数据；

红外线照射部，其对由所述搬送部搬送的所述检查对象物照射红外线；

红外线检测部，其检测来自所述检查对象物的所述红外线，输出基于检测结果的红外线图像数据；

保护部，其具有遮蔽所述X射线且使所述红外线透过的部件，以覆盖所述红外线照射部和所述红外线检测部的方式设置；和

图像生成部，其生成基于所述X射线图像数据的所述检查对象物的X射线图像，并生成基于所述红外线图像数据的所述检查对象物的红外图像。

2.如权利要求1所述的异物检查装置，其中，

向所述检查对象物的所述X射线的照射位置与所述红外线的照射位置相对于所述搬送方向为不同的位置，

所述X射线检测部的所述X射线的检测时机与所述红外线检测部的所述红外线的检测时机同步。

3.如权利要求2所述的异物检查装置，其中，

所述X射线检测部与所述X射线的检测时机相应地向所述红外线检测部输出同步信号。

4.如权利要求2所述的异物检查装置，其中，

所述红外线检测部与所述红外线的检测时机相应地向所述X射线检测部输出同步信号。

5.如权利要求2所述的异物检查装置，其中，

还包括使所述X射线检测部的所述X射线的检测时机与所述红外线检测部的所述红外线的检测时机同步的同步部。

6.如权利要求5所述的异物检查装置，其中，

所述同步部由脉冲发生器构成。

7.如权利要求5所述的异物检查装置，其中，

所述同步部由检测所述搬送部的所述检查对象物的移动量的编码器构成。

8.如权利要求1～7中的任一项所述的异物检查装置，其中，

所述红外线检测部检测在所述检查对象物反射的所述红外线和透过了所述检查对象物的所述红外线的至少一者。

9.如权利要求1～8中的任一项所述的异物检查装置，其中，

所述红外线检测部具有与来自所述检查对象物的所述红外线的光路对应地配置的狭缝。

10.如权利要求1～9中的任一项所述的异物检查装置，其中，

所述图像生成部生成将所述X射线图像与所述红外图像重叠的重叠图像。

11.如权利要求10所述的异物检查装置，其中，

所述图像生成部在以所述X射线图像的像素数与所述红外图像的像素数一致的方式修正了所述X射线图像和所述红外图像的一者之后，将所述X射线图像与所述红外图像重叠。

12.如权利要求1～11中的任一项所述的异物检查装置，其中，

还包括：

紫外线照射部，其对由所述搬送部搬送的所述检查对象物照射紫外线；

紫外线检测部，其检测来自所述检查对象物的所述紫外线，输出基于检测结果的紫外线图像数据；和

保护部，其具有遮蔽所述X射线且使所述紫外线透过的部件，以覆盖所述紫外线照射部和所述紫外线检测部的方式设置。