[发明专利]快速切削装置在审

专利信息
申请号: 202180007482.1 申请日: 2021-04-14
公开(公告)号: CN114846586A 公开(公告)日: 2022-08-02
发明(设计)人: 石川一政 申请(专利权)人: 株式会社东京精密
主分类号: H01L21/304 分类号: H01L21/304;B23D5/00;B23Q11/10;B24B41/06;H01L21/301;B23Q17/20
代理公司: 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 代理人: 刘卓然
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 快速 切削 装置
【权利要求书】:

1.一种快速切削装置,该快速切削装置对粘贴于工件的保护膜的上面进行切削,该工件包括在外面上形成有隆起的隆起区域和该隆起区域周围的外周区域,其特征在于,该快速切削装置包括:

快速切削工具;

工具主轴,该工具主轴下端处安装上述快速切削工具,并且上述工具主轴能在旋转上述快速切削工具的状态下升降;以及

卡盘,该卡盘以能旋转的方式保持上述工件,

上述快速切削工具对上述保护膜的上面从中心朝向外周进行切削。

2.根据权利要求1所述的快速切削装置,其特征在于,上述快速切削工具包括:

环形框架,该环形框架安装于上述工具主轴上;以及

刀具,该刀具安装于上述环状框架的外周,能切削上述保护膜。

3.根据权利要求1或2所述的快速切削装置,其特征在于,上述卡盘的旋转轴以仅倾斜规定角度的方式设定;

上述卡盘的保持上述工件的保持面呈中央比外周高的中凸状。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的快速切削装置,其特征在于,还具有向上述保护膜的上面供给冷却水的冷却水喷嘴。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的快速切削装置,其特征在于,还包括:

厚度传感器,该厚度传感器用于在上述快速切削工具的切削期间测量上述保护膜的厚度;以及

切削时间预测部,该切削时间预测部根据上述厚度传感器的测量值、上述快速切削工具的转数、上述卡盘的转数及上述工具主轴的下降速度,计算上述保护膜达到完工厚度的时间。

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