[发明专利]短弧放电灯用电极及其生成方法

说明书

[课题]提供一种散热性高的短弧放电灯用电极。[解决方案]向钨电极的表面照射激光，使表面熔化、凝固，在水平、垂直方向上形成不规则的平均粗糙度Ra为10μm以下的具有倒钩结构的凹凸。在设置有上述凹凸的电极主体表面涂布将陶瓷的粉末与溶剂混合而成的糊剂，在干燥后进行烧结，在表面形成具有微细的龟裂的散热层。反复进行上述氧化锆糊剂的涂布后，进行烧结而形成散热层。

技术领域

本发明涉及短弧放电灯用电极，特别是在电极表面形成散热性高的陶瓷的散热层的技术。

背景技术

日本专利第4295527号公报的第0050段公开了对由氧化铝、氧化钙、氧化铝和氧化钛的混合物、氧化铝和氧化铬的混合物中的任一种构成的散热层，为了提高密合性，在钨的表面设置Rmax 10μm以上、优选为Rmax 50μm以上的凹凸。

所述氧化铝、氧化钙、氧化铝和氧化钛的混合物、氧化铝和氧化铬的混合物的熔点低，因此难以用于高温的放电灯。

发明内容

发明所要解决的技术问题

在此，发明人着眼于锆，考虑能否在钨电极的表面形成。

但是发现即使在钨的表面形成氧化锆的散热层，散热性也不怎么提高。

本发明的目的在于提供一种形成有散热性高的陶瓷散热层的电极及其生成方法。

解决技术问题的手段

(1)本发明的短弧放电灯用电极的生成方法是在由高熔点金属构成的电极主体的表面具备氧化锆、碳化锆或氮化锆的散热层的短弧放电灯用电极的生成方法，其具备：对上述电极主体表面进行激光照射，使上述电极表面熔融、凝固，形成平均粗糙度Ra为21μm以下的凹凸的步骤；在上述电极主体表面设置有上述凹凸的电极主体表面上涂布将陶瓷的粉末与溶剂混合而成的糊剂，干燥后进行烧结，在上述散热层的表面形成具有微细的龟裂的散热层的步骤。因此，能够提供散热性高的短弧放电灯用电极。

(2)在本发明的短弧放电灯用电极的生成方法中，上述凹凸的最大粗糙度Rz/平均粗糙度Ra为5～9。因此，能够提高上述电极主体与上述散热层的密合性。

(3)在本发明的短弧放电灯用电极中，上述凹凸的平均粗糙度Ra为10μm以下。因此，能够更长期地保持上述电极主体与上述散热层的密合性。

在本说明书中，平均粗糙度Ra是指JIS B 0601中表示基准长度中Z(x)绝对值的平均值的算术平均粗糙度。另外，最大粗糙度Rz是指JIS B 0601-2001的测量参数，以基准长度提取用粗糙度计测定的粗糙度曲线的一部分，利用最高的部分(最大峰高：Rp)与最深的部分(最大谷深：Rv)之和求出。

本发明的特征、其他目的、用途、效果等通过参照实施方式以及附图而得以明确。

附图说明

图1：在本发明的钨主体30的表面形成的凹凸的示意图。

图2：图2A是示出形成于钨主体30之上的散热层32的详细情况的电子显微镜照片。图2B是其一部分进一步放大的图。

图3：从图2A的箭头20观察的向视图。

图4：示出各样品中的钨主体30的表面粗糙度(平均粗糙度Ra和最大粗糙度Rz)的分布的图。

图5：示出改变激光加工的条件的情况下的平均粗糙度Ra与散热性的关系的表。

图6：示出在氧化锆以外的陶瓷中的效果的表。

图7：示出图4所示的9个样品和进行追加实验的样品中的平均粗糙度Ra与最大粗糙度Rz的关系的表。

图8：示出各样品中的平均粗糙度Ra与最大粗糙度Rz的关系分布的图。

具体实施方式