[实用新型]集成电路芯片的性能检测装置有效
申请号: | 202123400812.X | 申请日: | 2021-12-30 |
公开(公告)号: | CN217655242U | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 田伟;廖兵;黄松;于光均 | 申请(专利权)人: | 苏州达晶半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/04 |
代理公司: | 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 | 代理人: | 聂颖 |
地址: | 215163 江苏省苏州市高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 芯片 性能 检测 装置 | ||
1.一种集成电路芯片的性能检测装置,包括:基板(1)、可转动地安装于基板(1)上方的圆盘(2)和设置于圆盘(2)正上方的探测仪(3),一支架(4)的底部安装于基板(1)上并位于圆盘(2)外侧,所述支架(4)的上部延伸至圆盘(2)上方并安装有所述探测仪(3),其特征在于:所述圆盘(2)上沿周向间隔设置有若干个安装座(5),所述圆盘(2)的外圆周面下部具有沿全周向分布的齿槽,所述圆盘(2)外侧可转动地安装有一与所述齿槽啮合的齿轮(6);
所述安装座(5)进一步包括:内部开设有安装槽的座体(51)和2个轴对称设置的夹持块(52),所述夹持块(52)各自的水平部滑动安装于座体(51)的安装槽内并通过一处于挤压状态的第一弹簧(7)与安装槽内侧壁连接,所述夹持块(52)各自的竖直部自开设于座体(51)上表面并与安装槽连通的避位孔中向上伸出,从而在两个夹持块(52)的竖直部之间形成一供器件嵌入的夹持区;
所述圆盘(2)朝向基板(1)的下表面上开有若干个与安装座(5)对应的滑槽,每个所述滑槽内设置有一与其内壁滑动配合的挤压块(8),所述挤压块(8)的上端面与滑槽内上壁之间连接有一处于压缩状态的第二弹簧(9),所述挤压块(8)的下端面上可转动地安装有用于与基板(1)的上表面滚动接触的球体(10)。
2.根据权利要求1所述的集成电路芯片的性能检测装置,其特征在于:所述支架(4)包括竖直设置的电动伸缩杆(41)和安装于电动伸缩杆(41)活动端上的弧形杆(42),一端与电动伸缩杆(41)连接的所述弧形杆(42)的另一端上安装有探测仪(3)。
3.根据权利要求1所述的集成电路芯片的性能检测装置,其特征在于:一旋转轴(11)的下端通过轴承可转动地安装于基板(1)上,所述旋转轴(11)的上端与圆盘(2)下表面固定连接。
4.根据权利要求1所述的集成电路芯片的性能检测装置,其特征在于:3个所述安装座(5)沿周向等间隔设置。
5.根据权利要求1所述的集成电路芯片的性能检测装置,其特征在于:所述基板(1)的上表面上开有若干个供球体(10)嵌入的凹槽。
6.根据权利要求1所述的集成电路芯片的性能检测装置,其特征在于:每个所述挤压块(8)上间隔安装有3个球体(10)。
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