[实用新型]瞬态电压抑制器用测试仪有效

专利信息
申请号: 202123400733.9 申请日: 2021-12-30
公开(公告)号: CN217655152U 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 田伟;廖兵;黄松;何丽江 申请(专利权)人: 苏州达晶半导体有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/327
代理公司: 北京棘龙知识产权代理有限公司 11740 代理人: 聂颖
地址: 215163 江苏省苏州市高*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 瞬态 电压 抑制 器用 测试仪
【说明书】:

本实用新型公开一种瞬态电压抑制器用测试仪,其圆盘外侧可转动地安装有一与齿槽啮合的齿轮,圆盘上表面上开设有若干个与安装座对应的条形槽,每个条形槽内转动安装有一沿圆盘径向延伸的丝杆,丝杆的一端与条形槽一端内壁转动连接,丝杆的另一端自圆盘的圆周面上向外伸出,丝杆上并位于条形槽内螺纹套装有一滑动块,安装座对应地安装于滑动块上,基板上并位于支架一侧安装有一支撑架,支撑架的上端延伸至圆盘上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯,激光灯位于探测仪与放置有待测器件的安装座之间。本实用新型还可以对待测器件放置的位置进行预调节,进一步提高了测试的精度。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件测试技术领域,尤其涉及一种瞬态电压抑制器用测试仪。

背景技术

数字式四探针测试仪专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器,由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成,测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析,然后以表格,图形方式统计分析显示测试结果,四探针测试仪是在半导体单晶生产过程中用来测试单晶断面及表皮电阻率的测试仪器。

但是,现有的测试方法都是通过移动单晶段改变测试点,在此移动过程中,难以保证测试的精度,导致测试效果欠佳。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种瞬态电压抑制器用测试仪,该瞬态电压抑制器用测试仪在实现对安装座的位置进行微调的同时,还可以对待测器件放置的位置进行预调节,进一步提高了测试的精度。

为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种瞬态电压抑制器用测试仪,包括:基板、可转动地安装于基板上方的圆盘和设置于圆盘正上方的探测仪,一支架的底部安装于基板上并位于圆盘外侧,所述支架的上部延伸至圆盘上方并安装有所述探测仪,所述圆盘上沿周向间隔设置有若干个安装座,所述圆盘的外圆周面下部具有沿全周向分布的齿槽,所述圆盘外侧可转动地安装有一与所述齿槽啮合的齿轮;

所述圆盘上表面上开设有若干个与安装座对应的条形槽,每个所述条形槽内转动安装有一沿圆盘径向延伸的丝杆,所述丝杆的一端与条形槽一端内壁转动连接,所述丝杆的另一端自圆盘的圆周面上向外伸出,所述丝杆上并位于条形槽内螺纹套装有一滑动块,所述安装座对应地安装于滑动块上,所述基板上并位于支架一侧安装有一支撑架,所述支撑架的上端延伸至圆盘上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯,所述激光灯位于探测仪与放置有待测器件的安装座之间。

上述技术方案中进一步改进的方案如下:

1. 上述方案中,所述丝杆与圆盘之间通过轴承转动连接。

2. 上述方案中,所述条形槽沿圆盘的径向分布。

3. 上述方案中,所述基板下方设置有与探测仪电连接的检测仪。

4. 上述方案中,一旋转轴的下端通过轴承可转动地安装于基板上,所述旋转轴的上端与圆盘下表面固定连接。

由于上述技术方案的运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:

本实用新型瞬态电压抑制器用测试仪,其圆盘上表面上开设有若干个与安装座对应的条形槽,每个条形槽内转动安装有一沿圆盘径向延伸的丝杆,丝杆的一端与条形槽一端内壁转动连接,丝杆的另一端自圆盘的圆周面上向外伸出,丝杆上并位于条形槽内螺纹套装有一滑动块,安装座对应地安装于滑动块上,可以在安装座随着圆盘转动至探测仪下方后,通过旋转丝杆对安装座的位置进行微调使得装夹于安装座内的待测试器件位于探测仪的正下方,从而提高测试的精度和准确性;进一步的,其基板上并位于支架一侧安装有一支撑架,支撑架的上端延伸至圆盘上方并安装有一用于与待测器件上的待测点配合的激光灯,激光灯位于探测仪与放置有待测器件的安装座之间,可以通过激光灯与滑动块的配合,对放置有待测器件的安装座在圆盘径向方向的位置进行预调节,再通过转动圆盘将待测器件移动至探测仪下方进行检测,进一步提高了测试的精度。

附图说明

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