[实用新型]一种用于腔体吊装和测漏的金属盖

说明书

本实用新型公开了一种用于腔体吊装和测漏的金属盖，其包括与腔体的上表面形状相契合的金属盖本体，金属盖本体的顶部中心位置处加固有金属板，金属盖本体和金属板的中心位置处均开设有螺纹孔，金属盖本体和金属板的螺纹孔内螺接有连接螺杆，连接螺杆的顶部固定有吊环，金属盖本体的顶部四个角位置处均固定有把手，金属盖本体与腔体的上表面相螺接。本实用新型完全适配要测漏的腔体，避免了在组装腔体过程中容易被多层密封结构误导的可能。同时，在金属盖上方设计了用于吊装腔体所用的吊钩，这样，组装好的腔体经测漏完成后，直接通过吊钩吊装到需要的机台上，节省了组装、测漏、吊装过程中的人力成本和时间成本。

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，应用于半导体设备的安装组装等过程，具体涉及一种用于腔体吊装和测漏的金属盖。

背景技术

随着集成电路产业在国内的发展越来越快，集成电路专用设备的设计、制造、翻新等发展也越来越快，尤其是半导体装备也在飞速发展。目前，应用材料磁控溅射设备占据了相当比例，以应用材料5500为例，在翻新和改造过程中，需要对现有腔体进行拆卸、清洗、重新组装和安装。在这个过程中，腔体需要不断地进行吊装、组装，并进行测漏，目前腔体不具有既能满足吊装需求又能满足测漏需求的金属盖。

实用新型内容

为了解决应用材料5500溅射腔体组装过程中需要吊装和测漏的需求，解决实际生产过程中的不便，提升工作效率，本实用新型提供了一种用于腔体吊装和测漏的金属盖。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：

本实用新型提供一种用于腔体吊装和测漏的金属盖，其特点在于，其包括与腔体的上表面形状相契合的金属盖本体，所述金属盖本体的顶部中心位置处加固有金属板，所述金属盖本体和金属板的中心位置处均开设有螺纹孔，所述金属盖本体和金属板的螺纹孔内螺接有连接螺杆，所述连接螺杆的顶部固定有吊环，所述金属盖本体的顶部四个角位置处均固定有把手，所述金属盖本体与腔体的上表面相螺接。

较佳地，所述金属盖本体采用不锈钢。

较佳地，所述金属板采用不锈钢。

较佳地，所述金属盖本体的四个角位置处均开设有与腔体的上表面四个角位置处的螺孔相匹配的螺丝孔并通过螺丝固定。

在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本实用新型各较佳实例。

本实用新型的积极进步效果在于：

本实用新型应用于半导体金属化制程的装备，具体涉及一种用于腔体吊装和测漏的金属盖，该金属盖直接用不锈钢加工成型，完全适配要测漏的腔体，避免了在组装腔体过程中容易被多层密封结构误导的可能。同时，在金属盖上方设计了用于吊装腔体所用的吊钩，这样，组装好的腔体经测漏完成后，直接通过吊钩吊装到需要的机台上，节省了组装、测漏、吊装过程中的人力成本和时间成本。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的用于腔体吊装和测漏的金属盖的正面示意图。

图2为本实用新型较佳实施例的用于腔体吊装和测漏的金属盖的背面示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。