[实用新型]放射线探测器像素和像素阵列、放射线探测器及检测装置有效

专利信息
申请号: 202123084722.4 申请日: 2021-12-09
公开(公告)号: CN216958037U 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 谭信辉;祁春超;王荣 申请(专利权)人: 杭州海康威视数字技术股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人: 王晶
地址: 310051 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 放射线 探测器 像素 阵列 检测 装置
【权利要求书】:

1.一种放射线探测器像素,其特征在于,包括:

半导体衬底;

光电二极管,设置于所述半导体衬底内,所述光电二极管具有感光面;

闪烁体,设置于所述光电二极管的感光面所在的一侧,且与所述光电二极管的位置对应;所述闪烁体具有相对设置的第一表面和第二表面,所述第一表面靠近所述光电二极管,所述第二表面远离所述光电二极管;其中,所述第一表面沿第一方向具有第一长度L1,所述第二表面沿所述第一方向具有第二长度L2,L1<L2,所述第一方向与所述感光面平行;

反射层,覆盖所述闪烁体,并被配置为对来自所述闪烁体发射的光进行反射。

2.根据权利要求1所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述闪烁体具有相对的两个第一侧面;

所述第一侧面靠近所述光电二极管的一端具有第一凹陷部;所述第一侧面沿第二方向延伸,所述第二方向与所述第一方向垂直,且与所述感光面平行。

3.根据权利要求2所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述闪烁体包括具有相对的两个第二侧面;

所述第二侧面靠近所述光电二极管的一端具有第二凹陷部;所述第二侧面沿第一方向延伸。

4.根据权利要求3所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述第一凹陷部的表面和所述第二凹陷部的表面中的至少一个为平面或者弧面。

5.根据权利要求3~4中任一项所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述第一凹陷部和所述第二凹陷部中任一个凹陷部的厚度与所述闪烁体的厚度的比值为n1,0<n1<1/3,所述厚度的方向为垂直所述感光面的方向。

6.根据权利要求3~4中任一项所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述第一凹陷部沿第一方向的长度与所述第二长度L2的比值为n2,0<n2<1/3;

所述第二凹陷部沿第二方向的宽度与所述第二表面的沿第二方向的宽度的比值为n3,0<n3<1/3。

7.根据权利要求1所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述闪烁体的横截面沿所述第一方向的第一宽度L5,在所述第二表面至所述第一表面的方向上逐渐减小,所述横截面与所述第一方向平行,且与所述感光面垂直。

8.根据权利要求7所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述闪烁体的纵截面沿第二方向的第二宽度L6,在所述第二表面至所述第一表面的方向上逐渐减小,所述纵截面与所述第二方向平行,且与所述感光面垂直,所述第二方向与所述第一方向垂直,且与所述感光面平行。

9.根据权利要求1所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述第一表面在所述感光面的垂直投影与所述感光面重合或位于所述感光面内。

10.根据权利要求1所述的放射线探测器像素,其特征在于,所述反射层覆盖所述闪烁体除所述第一表面之外的其余表面。

11.一种放射线探测器的像素阵列,其特征在于,包括多个呈阵列排布的权利要求1~10中任一项所述的放射线探测器像素。

12.一种放射线探测器,其特征在于,包括:

壳体,

如权利要求11所述的放射线探测器的像素阵列,所述放射线探测器的像素阵列设置于所述壳体内。

13.一种检测装置,其特征在于,包括:

发射机构,用于向待测物体发射检测放射线;

如权利要求12所述的放射线探测器,所述放射线探测器用于接收所述检测放射线经过所述待测物体透射或反射后的检测放射线。

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