[实用新型]一种便于定位的硅片用测试平台

说明书

本申请提供了一种便于定位的硅片用测试平台，属于硅片测试相关技术领域。该便于定位的硅片用测试平台包括固定机构和升降机构，所述压紧件设置于所述放置板顶部且位于所述放置槽外侧，所述压紧件设置有若干个，若干个所述压紧件沿所述放置板周侧分布，所述压紧件包括立柱、延伸板与压杆，所述立柱转动安装于所述放置板顶部，所述延伸板固定于所述立柱顶部，所述压杆螺纹贯穿于所述延伸板，所述升降机构包括框体和套接座，所述框体内底部转动安装有螺杆，所述套接座设置有两个，两个所述套接座分别固定于所述放置板两侧，所述放置板滑动设置于所述框体内侧，所述螺杆与一个所述螺杆螺纹套接，该便于定位的硅片用测试平台便于固定硅片。

技术领域

本申请涉及硅片测试相关技术领域，具体而言，涉及一种便于定位的硅片用测试平台。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料，而硅片的电阻率是一个十分关键的参数之一，电阻率是否在合格范围内直接影响了硅片的整体性能，因此需要对硅片的电阻率进行测试，同时需要相应的测试平台来辅助工作。

当今市场上现有的用于硅片电阻率测试的平台，往往用纸打印了测试模板，移动硅片瞄准测试点以进行测试，但现有的测试平台在移动硅片的过程中易造成硅片的晃动，进而影响到硅片测试的精度。在硅片测试过程中，通常采用测试头进行测试操作，但现有的测试平台往往不便于调节测试头与硅片之间的距离。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本申请提供了一种便于定位的硅片用测试平台，旨在改善上述所提出的问题。

本申请实施例提供了一种便于定位的硅片用测试平台，包括固定机构和升降机构，所述固定机构包括放置板、压紧件与锁紧件，所述放置板顶部开设有放置槽，所述压紧件设置于所述放置板顶部且位于所述放置槽外侧，所述压紧件设置有若干个，若干个所述压紧件沿所述放置板周侧分布，所述压紧件包括立柱、延伸板与压杆，所述立柱转动安装于所述放置板顶部，所述延伸板固定于所述立柱顶部，所述压杆螺纹贯穿于所述延伸板，所述压杆底部转动连接有压板，所述锁紧件设置于所述立柱一侧，所述锁紧件与所述放置板顶部活动连接，所述升降机构包括框体和套接座，所述框体内底部转动安装有螺杆，所述套接座设置有两个，两个所述套接座分别固定于所述放置板两侧，所述放置板滑动设置于所述框体内侧，所述螺杆与一个所述螺杆螺纹套接。

在上述实现过程中，在硅片测试前，因为立柱转动安装于放置板顶部，锁紧件设置于立柱一侧，锁紧件与放置板顶部活动连接，所以起初压板位于放置槽上方，立柱通过锁紧件锁紧在放置板顶部，使得立柱不可进行转动，松动锁紧件以使得立柱可进行转动，转动立柱使得压板不位于放置槽上方，此时以便将待测试的硅片放入放置槽内，之后旋动立柱，使得压板重新位于放置槽上方，并通过锁紧件完成立柱转动后所处位置的固定，其中锁紧件与放置板顶部的连接方式可设置为螺栓连接，以便限制立柱的转动，旋动压杆使得压板向下移动，以便对硅片进行压紧，其中压紧件设置有若干个，若干个压紧件沿放置板周侧分布，所以对应的压板同样沿放置板周侧分布，以使得处于放置槽的硅片的四侧均可得的压紧，因为放置板滑动设置于框体内侧，放置板一端的套接座与螺杆螺纹套接，所以根据螺纹传动原理，旋动螺杆以带动套接座竖向移动，进而带动处于放置槽内的硅片竖向移动，其中用于测试硅片的测试模板和测试头为外界的设备，通过硅片竖向移动，以便调节硅片与外界测试设备之间的距离。

在一种具体的实施方案中，所述压板底部设置有橡胶垫，所述压杆顶部设置有把手。

在上述实现过程中，橡胶垫具有防滑性，以便于压板底部贴紧硅片顶部，把手的设置以便转动压杆。

在一种具体的实施方案中，所述锁紧件包括横板和插杆，所述横板设置于所述立柱一侧，所述插杆螺纹贯穿于所述横板，所述放置板顶部且位于所述立柱两侧均开设有插槽，所述插槽可供所述插杆插接。