[实用新型]一种便于定位的硅片用测试平台有效
| 申请号: | 202122990470.5 | 申请日: | 2021-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN217133208U | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
| 发明(设计)人: | 张晋美 | 申请(专利权)人: | 四川晶美硅业科技有限公司 |
| 主分类号: | G01R1/04 | 分类号: | G01R1/04;G01R31/26 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 629000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 便于 定位 硅片 测试 平台 | ||
1.一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,包括
固定机构(100),所述固定机构(100)包括放置板(110)、压紧件(120)与锁紧件(130),所述放置板(110)顶部开设有放置槽(111),所述压紧件(120)设置于所述放置板(110)顶部且位于所述放置槽(111)外侧,所述压紧件(120)设置有若干个,若干个所述压紧件(120)沿所述放置板(110)周侧分布,所述压紧件(120)包括立柱(121)、延伸板(122)与压杆(123),所述立柱(121)转动安装于所述放置板(110)顶部,所述延伸板(122)固定于所述立柱(121)顶部,所述压杆(123)螺纹贯穿于所述延伸板(122),所述压杆(123)底部转动连接有压板(1231),所述锁紧件(130)设置于所述立柱(121)一侧,所述锁紧件(130)与所述放置板(110)顶部活动连接;
升降机构(200),所述升降机构(200)包括框体(210)和套接座(220),所述框体(210)内底部转动安装有螺杆(211),所述套接座(220)设置有两个,两个所述套接座(220)分别固定于所述放置板(110)两侧,所述放置板(110)滑动设置于所述框体(210)内侧,所述螺杆(211)与一个所述螺杆(211)螺纹套接。
2.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述压板(1231)底部设置有橡胶垫,所述压杆(123)顶部设置有把手。
3.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述锁紧件(130)包括横板(131)和插杆(132),所述横板(131)设置于所述立柱(121)一侧,所述插杆(132)螺纹贯穿于所述横板(131),所述放置板(110)顶部且位于所述立柱(121)两侧均开设有插槽(112),所述插槽(112)可供所述插杆(132)插接。
4.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述螺杆(211)顶部设置有转手。
5.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述框体(210)内底部设置有限位杆(212),一个所述套接座(220)与所述限位杆(212)滑动套接。
6.根据权利要求1所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述放置板(110)内部且位于所述放置槽(111)外侧设置有安装槽(140),所述安装槽(140)设置有两个,两个所述安装槽(140)分别设置于所述放置板(110)内部的两侧,所述安装槽(140)内部设置有夹持件(150),所述夹持件(150)包括丝杆(151)、滑板(152)与滑杆(153),所述丝杆(151)转动安装于所述安装槽(140)内,所述滑板(152)滑动设置于所述安装槽(140)内,所述滑板(152)螺纹套接于所述丝杆(151),所述滑杆(153)一端与所述滑板(152)相连,所述滑杆(153)另一端滑动贯穿至所述放置槽(111)内部且连接有夹板(1531),所述放置板(110)底部且对应所述安装槽(140)的位置设置有驱动件(160),所述驱动件(160)与所述丝杆(151)传动连接。
7.根据权利要求6所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述安装槽(140)内部固定有横杆(141),所述滑板(152)滑动套接于所述横杆(141)。
8.根据权利要求6所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述驱动件(160)包括转杆(161)和第一斜齿轮(162)与第二斜齿轮(163),所述转杆(161)一端贯穿至所述安装槽(140)内部且与所述第一斜齿轮(162)相连,所述第二斜齿轮(163)固定套接于所述丝杆(151),所述第二斜齿轮(163)与所述第一斜齿轮(162)啮合连接。
9.根据权利要求8所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述放置板(110)内部且对应所述转杆(161)外部设置有轴承,所述转杆(161)外圈与轴承内圈相固定。
10.根据权利要求6所述的一种便于定位的硅片用测试平台,其特征在于,所述夹板(1531)为弧形形状,所述夹板(1531)内圆弧面设置有防滑垫。
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