[实用新型]一种薄膜式压力传感器测试支架有效

专利信息
申请号: 202122988631.7 申请日: 2021-12-01
公开(公告)号: CN216433338U 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 叶宏;陈冠诚 申请(专利权)人: 钛深科技(深圳)有限公司
主分类号: G01L5/00 分类号: G01L5/00
代理公司: 江苏斐多律师事务所 32332 代理人: 向妮
地址: 518112 广东省深圳市龙岗区吉华*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 薄膜 压力传感器 测试 支架
【说明书】:

实用新型公开一种薄膜式压力传感器测试支架,包括基板、连接板、固定板和若干螺钉;所述基板的前端开设有横向滑槽,后端中部开设有第一螺孔;所述连接板前端开设有竖向滑槽;所述固定板上开设有第二螺孔,第二螺孔内侧设有一组相对布置的槽口,槽口之间形成用于插放薄膜式压力传感器的芯片放置区;所述基板通过依次插入竖向滑槽和第二螺孔的螺钉与连接板固定连接;所述固定板通过依次插入横向滑槽和第一螺孔的螺钉与基板固定连接。本实用新型公开的薄膜式压力传感器测试支架可在化成设备上使用,实现薄膜式传感器与化成设备固定,在测试过程中保证测试薄膜不会因化成设备自身产生的震动造成与被测物的接触偏移。

技术领域

本申请涉及一种薄膜式压力传感器在化成设备应用时的辅助测试支架,使用该测试支架可以实现薄膜式传感器与化成设备固定,在测试过程中保证测试薄膜不会因化成设备自身产生的震动造成与被测物的接触偏移。

背景技术

在化成设备测试过程中,化成设备经常会产生震动,大多数传感器因自身结构没有设计孔位无法固定在化成设备上,导致传感器的感测片与被测物体之间因震动而贴合不紧,因此,需要设计一种可以固定安装在化成设备上的测试支架,能使传感器固定在支架上从而使感测片与被测物保持相对静止。

实用新型内容

为解决目前传感器无法固定在化成设备上,导致感测片无法与被测物稳定的贴合的技术问题,本实用新型提供一种薄膜式压力传感器测试支架,可以固定安装在化成设备上,使传感器固定在测试支架上从而使感测片与被测物保持相对静止。

本实用新型公开的薄膜式压力传感器测试支架,包括基板、连接板、固定板和若干螺钉;所述基板的前端开设有横向滑槽,后端中部开设有第一螺孔;所述连接板前端开设有竖向滑槽;所述固定板上开设有第二螺孔,第二螺孔内侧设有一组相对布置的槽口,槽口之间形成用于插放薄膜式压力传感器的芯片放置区;所述基板通过依次插入竖向滑槽和第二螺孔的螺钉与连接板固定连接;所述固定板通过依次插入横向滑槽和第一螺孔的螺钉与基板固定连接。

作为一种优选方案,所述基板后端中部具有向外延伸的尾翼,所述第一螺孔布置在尾翼处。

作为一种优选方案,所述尾翼为倒梯形结构。

作为一种优选方案,所述横向滑槽包括布置在一条直线上的两组,所述固定板包括两块,每块固定板上开设有两个第二螺孔;所述固定板通过第二螺孔和横向滑槽配合使用。

作为一种优选方案,所述横向滑槽包括在一条直线上间隔布置的两条短槽,每条短槽和一个第二螺孔配合使用。

作为一种优选方案,所述竖向滑槽具有平行布置的两条,第一螺孔具有两组,每条竖向滑槽与一组第一螺孔配合使用。

作为一种优选方案,所述槽口之间还设有用于限制插放于芯片放置区的薄膜式压力传感器向连接板方向移动的拦板。

作为一种优选方案,所述连接板的后端端部具有一垂直布置的连接面,通过所述连接面与外部设备连接固定。

作为一种优选方案,所述连接面上设有一组用于安装螺钉的长孔,所述连接面与外部设备通过长孔内设置的螺钉实现螺纹连接。

作为一种优选方案,所述基板上设有若干镂空结构。

本实用新型公开的薄膜式压力传感器测试支架,可以安装在化成设备上使用,使用该测试支架可以实现薄膜式传感器与化成设备固定,在测试过程中保证测试薄膜不会因化成设备自身产生的震动造成与被测物的接触偏移,使传感器与被测物保持相对静止,保证测试的准确性。

附图说明

图1为实施例中的辅助测试支架的俯视图;

图2为实施例中的辅助测试支架的仰视图;

图3为实施例中辅助测试支架的的立体结构示意图。

具体实施方式

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