[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置，所述背板设有若干个通孔，所述MEMS麦克风还包括连接所述第一振膜、背板以及第二振膜的连接柱。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述连接柱连接所述第一振膜、背板和第二振膜，可提高所述MEMS麦克风的可靠性和灵敏度。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置，第一振膜和第二振膜通过外边缘与基底固定，此种结构的MEMS麦克风的振膜在声压的作用下位移量变化不大，因此MEMS麦克风的灵敏度也不是很高。

因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题是提供一种灵敏度高的MEMS麦克风。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底和设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置，所述背板设有若干个通孔，所述MEMS麦克风还包括连接所述第一振膜、背板以及第二振膜的连接柱。

优选的，所述连接柱包括远离所述基底的上表面、与所述上表面相对的下表面以及连接所述上表面和下表面的侧面，所述连接柱贯穿所述通孔，所述连接柱的上表面与所述第一振膜连接，所述下表面与所述第二振膜连接，所述侧面与所述背板连接。

优选的，所述连接柱为中空环状结构，所述背板与所述连接柱的内侧的侧面连接。

优选的，所述连接柱有两个，且分别位于背板的两侧，两个所述连接柱分别夹设于第一振膜和背板之间和第二振膜和背板之间。

优选的，所述连接柱连接所述第一振膜、背板以及第二振膜的中心位置。

优选的，所述连接柱与所述背板一体形成。

优选的，所述第一振膜包括第一本体部、位于所述第一本体部外周的第一固定部以及连接所述第一本体部和所述第一固定部的第一弹性件。

优选的，所述第二振膜包括第二本体部、位于所述第二本体部外周的第二固定部以及连接所述第二本体部和所述第二固定部的第二弹性件。

优选的，所述MEMS还设有贯穿通孔的支撑柱，所述支撑柱连接所述第一振膜和第二振膜。

优选的，所述支撑柱设有多个，多个所述支撑柱关于所述连接柱呈轴对称分布。

与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风，所述连接柱连接所述第一振膜、背板和第二振膜，可提高所述MEMS麦克风的可靠性和灵敏度。

【附图说明】