[实用新型]一种用于生产电子级过氧化氢水溶液的系统

说明书

一种用于生产电子级过氧化氢水溶液的系统，包括与过氧化氢浓缩装置连接的换热器（13），与换热器（13）连接的一级反渗透装置，与一级反渗透装置连接的二级反渗透装置，与二级反渗透装置连接的离子交换装置（28）；一级反渗透装置包括进料控制阀（15）、第一级反渗透机构（16）、第一出料控制阀（17）、第一反渗透剩余液回收管（18）、第一防爆机构（19）、第一排空管（20）；二级反渗透装置包括第二级反渗透机构（21）、第二出料控制阀（22）、第二反渗透剩余液回收管（23）、第二防爆机构（24）、第二排空管（25）、反渗透液收集管（26），换热器（13）出口管道（14）与第一反渗透剩余液回收管（18）连通，连通管道上设有压力控制阀（27）。

技术领域

本实用新型涉及过氧化氢生产技术领域，尤其是涉及一种用于生产电子级过氧化氢水溶液的系统。

背景技术

过氧化氢水溶液又被成为双氧水，是一种生产过氧乙酸、过氧化硫脲等过氧化物的重要原料，并广泛用于医药、纺织印染，造纸漂白等行业。随着电子工业的发展，电子级过氧化氢作为重要的清洗剂和蚀刻剂，其需求量逐渐增大。

电子级过氧化氢直接影响到集成电路性能及其生产的连续性和稳定性。电子级过氧化氢水溶液一般是以工业级过氧化氢水溶液作原料，经一系列精制、净化得到的。常用方法有蒸馏法、吸附法、萃取法、反渗透膜法、冷冻结晶法、树脂法、超滤法。采用单一单元操作对工业过氧化氢水溶液进行纯化，虽然能够提高过氧化氢水溶液的品质， 但单一的方法生产能耗大、成本高且效率低，无法满足电子市场对过氧化氢产品品质的要求。

CN 112062096 A公开了一种电子级过氧化氢水溶液的生产装置及生产方法。电子级过氧化氢水溶液的生产装置包括依次采用管路连接的精馏装置、第一输送泵、反渗透装置、第二输送泵、离子交换装置、第三输送泵、超纯过滤装置、第四输送泵和灌装装置。将工业级过氧化氢通过精馏、反渗透、离子交换，最后通过超滤膜过滤得到电子级过氧化氢水溶液。

目前用于生产电子级过氧化氢水溶液的装备，普遍存在高能耗、高成本、生产不灵活等问题。因此，如何提供一种低能耗，能灵活适应市场需求，便于生产过程调节的电子级过氧化氢水溶液生产装备是本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是如何提供一种能有效降低能耗和冷却水消耗量，灵活适应市场需求，便于生产调节的用于生产电子级过氧化氢水溶液的系统。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于生产电子级过氧化氢水溶液的系统，包括过氧化氢浓缩装置，通过管路与所述过氧化氢浓缩装置连接的换热器，通过管路与所述换热器连接的一级反渗透装置，通过管路与所述一级反渗透装置连接的二级反渗透装置，通过管路与所述二级反渗透装置连接的离子交换装置；所述换热器的第一介质入口与所述过氧化氢浓缩装置的浓缩液出口管道连接；所述一级反渗透装置包括若干进口与所述换热器的第一介质出口管道连通的进料控制阀，若干进料口分别通过管道与所述进料控制阀的出口连通的第一级反渗透机构，若干分别与所述第一级反渗透机构的反渗透剩余液出口连通的第一出料控制阀，与所述第一出料控制阀连通的第一反渗透剩余液回收管，第一端通过管道与第一级反渗透机构的进料口连通的第一防爆机构，与所述第一防爆机构的另一端连接的第一排空管；所述二级反渗透装置包括至少一进料口通过管道与所述第一级反渗透机构的渗透液出口连通的第二级反渗透机构，通过管道与所述第二级反渗透机构的反渗透剩余液出口连接的第二出料控制阀，与所述第二出料控制阀连接的第二反渗透剩余液回收管，第一端通过管道与第二级反渗透机构的反渗透剩余液出口连通的第二防爆机构，与所述第二防爆机构的另一端连接的第二排空管，与所述第二级反渗透机构的渗透液出口连通的反渗透液收集管；所述第一介质出口管道与第一反渗透剩余液回收管连通，其连通管道上设有压力控制阀；所述第一反渗透剩余液回收管与所述蒸发器或/和精馏塔的浓缩液收集管道连接；所述离子交换装置的进料口与反渗透液收集管连接。