[实用新型]晶舟夹取装置和机械手

说明书

本实用新型公开了一种晶舟夹取装置和机械手，涉及半导体制造技术领域。晶舟夹取装置，具体包括安装于丝杆步进电机丝杆上的丝杆螺母，丝杆螺母上设有升降板，升降板上连接有连接板，升降联动轴连接于连接板并与丝杆的侧壁相垂直，两根摆动轴与升降联动轴平行设置且均布于升降联动轴的两侧，两个传动板均套接于升降联动轴上，两个传动板远离升降联动轴的一端分别连接于不同的摆动轴；至少一对夹持组件分别连接于两根摆动轴上，夹持组件包括连接于摆动轴的夹持固定板和与夹持固定板可拆卸连接的环状夹持部。旨在解决现有转轴晶舟夹取机构定位过程复杂，容易出现部分脱钩，导致晶舟固定不稳的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及晶舟夹取装置和机械手。

背景技术

在半导体产业的制造工厂中通常配置有多台的湿式工艺设备用于批次式的处理大量的晶圆。为了应对不同种类电子产品，会使用不同形状和尺寸的晶圆或基板。因此在进行湿式工艺时，使用的晶舟种类也会有所不同。举例来说，当以4寸或6寸的基板进行湿式工艺时，一般采用对应尺寸的晶舟来承载基板。

为了便于晶舟的夹取，现有的晶舟夹取机构一般采用设置在夹臂上的挂钩对晶舟进行固定，然后通过移料组件移动晶舟，从而完成晶舟的移动。

但采用挂钩的方式固定晶舟，存在一下技术问题：1、挂钩与晶舟需要进行精准的定位。2、挂钩相互独立，容易出现部分脱钩而导致晶舟固定不稳的情况出现。如何解决上述技术问题成为了亟待解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提供一种晶舟夹取装置和机械手，旨在解决现有转轴晶舟夹取机构定位过程复杂，容易出现部分脱钩，导致晶舟固定不稳的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种晶舟夹取装置，

包括丝杆步进电机、丝杆螺母、升降联动轴、两个传动板、两根摆动轴、以及至少一对夹持组件；

所述丝杆螺母安装于所述丝杆步进电机的丝杆上，所述丝杆螺母上设有升降板，所述升降板上设有与其水平面垂直的连接板，所述升降联动轴连接于所述连接板并与所述丝杆的侧壁相垂直 ，所述两根摆动轴与所述升降联动轴平行设置且均布于所述升降联动轴的两侧，所述两个传动板均套接于所述升降联动轴上，两个所述传动板远离所述升降联动轴的一端分别连接于不同的所述摆动轴；所述一对夹持组件分别连接于所述两根摆动轴上，所述夹持组件包括连接于所述摆动轴的夹持固定板和与所述夹持固定板可拆卸连接的环状夹持部。

在本申请的一实施例中，所述环状夹持部包括可拆卸连接于所述夹持固定板的夹持座和自由端可拆卸连接于所述夹持座的U形夹持爪。

在本申请的一实施例中，所述夹持座为M形。

在本申请的一实施例中，所述丝杆螺母与所述升降联动轴之间设有限制所述升降联动轴水平转动的导向轴。

本申请还公开了一种机械手，包括如上所述的晶舟夹取装置和驱动所述晶舟夹取装置升降运动的升降组件。

在本申请的一实施例中，所述升降组件包括升降支撑架，所述升降支撑架上设有升降驱动件，所述升降驱动件的输出轴连接有升降丝杆，所述升降丝杆上套接有带动所述晶舟夹取装置升降的升降丝杆螺母。

在本申请的一实施例中，所述升降支撑架上还设有用于检测所述升降螺母运动位置的升降到位检测模组。

在本申请的一实施例中，还包括用于驱动所述升降支撑架水平横移的横移组件。

在本申请的一实施例中，所述横移组件包括与所述升降支撑架之间滑动连接的导轨和驱动所述升降支撑架在所述导轨上往复运动的横移驱动件。

在本申请的一实施例中，还包括用于检测所述升降支撑架横移位置的横移到位检测模组。